[發明專利]具有隨機電氣特性的電氣部件

有效

• 申請號: 201580048997.0
• 申請日: 2015-09-08
• 公開（公告）號: CN106716561B
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 盧西恩·施弗倫;維卡斯·錢德拉;姆迪特·巴爾加瓦
• 申請（專利權）人: ARM有限公司
• 主分類號: H01C1/14
• 分類號: H01C1/14;H01C7/00;H01C17/065;H01G4/08;H01G4/14;H01G4/33;H04L9/08;G09C1/00
• 代理公司: 11258 北京東方億思知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 林強<國際申請>=PCT/GB2015/

電氣部件形成有具有隨機電氣特性(例如電阻或電容)的定向自組裝部分。可以通過使用具有包括隨機誘導特征的引導結構(2)的定向自組裝聚合物來產生隨機圖案。具有隨機電氣特性的電氣部件可以用于依賴于電氣特性的隨機變化的電路中，例如物理不可克隆函數電路。電氣部件可以是電阻器和/或電容器。

技術領域

本公開涉及電氣部件領域。更具體地，本公開涉及用于提供隨機電氣特性的電氣部件。

背景技術

在形成集成電路的結構時使用定向自組裝(DSA)技術是公知的。這些技術用于形成包括規則排列的平行線的掩膜。

發明內容

本公開的至少一些示例實施例提供了一種電氣部件，該電氣部件的一部分具有與隨機圖案相對應的形狀，以給予所述電氣部件隨機的電氣特性。

本公開認識到，可以在定向自組裝中產生的隨機圖案實際上可能不造成制造過程的失敗，而是適合于生產具有隨機電氣特性的電氣部件。具體地，圖案在被形成時從統計上看在實例之間非常可能是獨特的。此外，圖案本身是可以控制電氣特性但在操作期間不會改變的參數。這與電氣部件的其它參數形成對比，其中，其他參數可以對電氣特性施加一定程度的隨機性，但是在操作期間會發生變化，例如諸如載流子移動性之類的參數，載流子移動性可能與溫度相關，使得在操作期間電氣特性不穩定。本技術能夠生產具有隨機電氣特性并在操作期間維持該隨機電氣特性的電氣部件。

本公開的至少一些另外的示例實施例提供了一種形成具有隨機電氣特性的電氣部件的方法，包括以下步驟：用定向自組裝形成電氣部件的至少一部分，以具有與隨機圖案相對應的形狀。

本公開的至少一些其它示例性實施例提供了一種電氣部件，包括至少一個引導結構；以及具有由至少一個引導結構控制的形狀的定向自組裝部分，其中，至少一個引導結構具有一個或多個隨機誘導特征，一個或多個隨機性誘導特征的大小大于引導結構的制造公差的大小。

附圖說明

現在將僅通過舉例的方式參照附圖描述示例性實施例，其中：

圖1示意性地示出了使用DSA形成自對準的平行聚合物軌道；

圖2示意性地示出了可以由DSA產生的示例隨機圖案；

圖3示意性地示出了具有隨機誘導特征的不同形式的引導結構，以誘導在所有方向上具有無序行為的定向自組裝部分的形成；

圖4示意性地示出了具有隨機電阻的電阻器的形成；

圖5示意性地示出了隨機電容的橫截面；

圖6示意性地示出了隨機電阻的橫截面；

圖7示意性地示出了具有由隨機電阻控制的操作行為的物理不可克隆函數電路；

圖8示意性地示出了具有由隨機電容控制的振蕩頻率的N級環形振蕩器；

圖9示意性地示出了用于產生數字輸出的電路，其中數字輸出在電路的實例之間隨機地為0或1；

圖10示意性地示出了由相對電阻值控制的感測放大器；

圖11示意性地示出了由相對電容值控制的感測放大器；以及

圖12是示意性地示出具有隨機電氣特性的電氣部件的生產的流程圖，其中該隨機電氣特性取決于由定向自組裝聚合物產生的隨機圖案。

具體實施方式

附圖的圖1示意性地示出了使用DSA在兩個引導結構之間形成自對準平行聚合物軌道。期望產生緊密間隔的平行聚合物線的陣列，然后其可以用作圖案/掩膜以制造諸如finFET之類的電路。用于形成圖案的常見光學技術隨著幾何形狀變小而陷入困境，因此通過使用DSA技術形成這種自對準平行聚合物軌道是有吸引力的選擇。