[發(fā)明專利]具備固定加熱塊的角閥

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580047786.5
• 申請(qǐng)日: 2015-09-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106605092B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金培鎮(zhèn);金潒鍲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 普利西斯株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F16K49/00
• 分類號(hào): F16K49/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 呂琳;楊生平

本發(fā)明涉及具備固定加熱塊的角閥，其特征在于，包括：閥殼(100)，其在內(nèi)側(cè)形成有流體移動(dòng)孔(101)，且具備供流體流入的流入部(110)和供流體流出的流出部(120)；固定加熱塊(200)，其固定安裝于所述閥殼(100)的內(nèi)側(cè)，且在內(nèi)部具備滑動(dòng)孔(210)；驅(qū)動(dòng)構(gòu)件(300)，其能拆卸地結(jié)合于所述閥殼(100)上部，提供驅(qū)動(dòng)力；密閉部(400)，其與所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件(300)連接，根據(jù)所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件(300)的驅(qū)動(dòng)與否而開(kāi)閉所述流入部(110)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具備固定加熱塊的角閥，所述具備固定加熱塊的角閥的特征在于，包括：閥殼100，其在內(nèi)側(cè)形成有流體移動(dòng)孔101，且具備供流體流入的流入部110和供流體流出的流出部120；固定加熱塊200，其固定安裝于所述閥殼100的內(nèi)側(cè)，且在內(nèi)部具備滑動(dòng)孔210；驅(qū)動(dòng)構(gòu)件300，其能拆卸地結(jié)合于所述閥殼100上部，提供驅(qū)動(dòng)力；密閉部400，其與所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件300連接，根據(jù)所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件300的驅(qū)動(dòng)與否而開(kāi)閉所述流入部110。

背景技術(shù)

一般而言，半導(dǎo)體或LCD具有固定密度，因而要求高清潔度和特殊的制造技術(shù)。

由于這種理由，半導(dǎo)體元件在能夠最完美地切斷與空氣中包含的異物接觸的真空狀態(tài)下進(jìn)行制造。

因此，半導(dǎo)體制造裝置的真空作業(yè)區(qū)域與大氣的密封技術(shù)，也對(duì)半導(dǎo)體制品的品質(zhì)產(chǎn)生許多影響。

在如上所述制造半導(dǎo)體所需的工序區(qū)間安裝有角閥，執(zhí)行把借助于真空泵而移動(dòng)的流體傳遞到腔內(nèi)或切斷的功能。

這種角閥具備供流體流入的流入部和供流體流出的流出部，隨著缸的驅(qū)動(dòng)，密閉部移動(dòng)并對(duì)流入部進(jìn)行開(kāi)閉，從而向腔內(nèi)部傳遞流體或切斷。

另一方面，隨著流體借助于真空泵而排氣，流體內(nèi)存在的工序副產(chǎn)物流入角閥內(nèi)部，因此，如果暴露于角閥內(nèi)部的由不銹鋼或鐵等材質(zhì)形成的波紋管等，則因化學(xué)反應(yīng)而生成微粒。

如上所述因化學(xué)反應(yīng)而生成的微粒在低溫下析出，發(fā)生固著于角閥內(nèi)部或密閉部等的現(xiàn)象，縮短角閥的壽命，為了防止微粒的固著，在角閥內(nèi)部附著有發(fā)散既定溫度以上的熱的加熱器，使角閥內(nèi)部的溫度上升，從而防止微粒的析出現(xiàn)象。

下述專利文獻(xiàn)1的“CVD裝置的真空排氣閥(大韓民國(guó)注冊(cè)專利公報(bào)第10-0256768號(hào))”涉及在一側(cè)具有氣體流入口或氣體流出口而在下側(cè)具有氣體流出口的閥箱中，利用波紋管對(duì)借助于上側(cè)的促動(dòng)器而進(jìn)行開(kāi)閉運(yùn)轉(zhuǎn)的閥體的運(yùn)轉(zhuǎn)連接部進(jìn)行密封的CVD裝置的真空排氣閥，在所述波紋管內(nèi)，在閥體的運(yùn)轉(zhuǎn)連接部的外周側(cè)配置能彈性伸縮的線圈狀的加熱套，將其下端固定于閥體的上側(cè)，上端固定于閥箱內(nèi)頂面后，連接于閥箱外的導(dǎo)線，把對(duì)加熱套進(jìn)行溫度控制的鎧裝式熱電偶按相同級(jí)別、相同圈數(shù)，同心配置于加熱套的內(nèi)周側(cè)，在閥箱外面附著橡膠加熱器，從而使波紋管內(nèi)部的閥體和加熱套一體運(yùn)轉(zhuǎn)，在閥開(kāi)閉時(shí)，可以加熱閥體或波紋管，具有能夠防止在閥箱內(nèi)發(fā)生微粒的優(yōu)點(diǎn)。

但是，所述專利文獻(xiàn)1的“CVD裝置的真空排氣閥”在促動(dòng)器通過(guò)空壓而上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，連接于活塞桿的線圈形狀的加熱套及鎧裝式熱電偶同時(shí)游動(dòng)，因而由于每天少則數(shù)百次、多則數(shù)千次的促動(dòng)器的反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)，加熱套及鎧裝式熱電偶因收縮及放松的反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)而發(fā)生變位，具有存在破損危險(xiǎn)性的問(wèn)題。

另外，線圈形狀的加熱套及鎧裝式熱電偶由于其結(jié)構(gòu)性形狀，在放松時(shí)，與放松的加熱套的體積相比，發(fā)熱量小，存在難以高效地把熱傳遞到閥箱及波紋管內(nèi)部的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明正是為了解決所述問(wèn)題而研發(fā)的，本發(fā)明的目的在于提供一種具備固定加熱塊的角閥，把發(fā)熱的固定加熱塊固定安裝于波紋管內(nèi)側(cè)，從而即使驅(qū)動(dòng)構(gòu)件運(yùn)轉(zhuǎn)，固定加熱塊仍然保持固定狀態(tài)，能夠提高固定加熱塊的壽命及效率，減小部件更換的次數(shù)，能夠防止連接于固定加熱塊的電線因驅(qū)動(dòng)構(gòu)件的運(yùn)轉(zhuǎn)而損傷。