[發明專利]感光性樹脂組合物、硬化膜及其制造方法、液晶顯示裝置、有機電激發光顯示裝置及觸摸屏

有效

• 申請號: 201580047464.0
• 申請日: 2015-09-02
• 公開（公告）號: CN106716252B
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 吉田健太;雨宮拓馬;山田悟;中川干雄
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;C08G73/22;G02F1/1333;G03F7/004;G03F7/023;G06F3/041;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22
• 代理公司: 11205 北京同立鈞成知識產權代理有限公司
• 代理人: 彭雪瑞;臧建明

1.一種感光性樹脂組合物，其含有：

聚苯并噁唑前體；

選自產生pKa為3以下的酸的光酸產生劑及醌二疊氮化合物中的至少一種；以及

溶劑，且

所述聚苯并噁唑前體以合計為所述聚苯并噁唑前體中的所有重復單元的70mol％以上的比例含有下述通式(1)所表示的重復單元及下述通式(2)所表示的重復單元，所述通式(1)所表示的重復單元與所述通式(2)所表示的重復單元的含量的比率以摩爾比計為9:1～3:7；

在所述通式(1)及所述通式(2)中，X¹及X²分別獨立地表示四價的有機基，

R¹～R⁴分別獨立地表示氫原子、烷基、酸分解性基或-CORc所表示的基團，且R¹～R⁴的至少一個表示氫原子或酸分解性基，

Rc表示烷基或芳基，

Y¹表示碳數3～15的環狀的脂肪族基，

Y²表示碳數4～20的直鏈或分支的脂肪族基，

其中所述通式(1)中的X¹及所述通式(2)中的X²分別獨立地為選自下述式(X-1)～式(X-4)中的一種；

在式(X-1)～式(X-4)中，*1或*2的任一個表示與-OR¹或-OR³的連結鍵，另一個表示與聚合物主鏈的連結鍵，

*3或*4的任一個表示與-OR²或-OR⁴的連結鍵，另一個表示與聚合物主鏈的連結鍵。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中所述感光性樹脂組合物含有產生pKa為3以下的酸的光酸產生劑，

所述聚苯并噁唑前體中，所述聚苯并噁唑前體的所有重復單元所具有的酸基的10％～60％經酸分解性基保護。

3.根據權利要求1或2項所述的感光性樹脂組合物，其中所述聚苯并噁唑前體具有在末端由單官能酰氯封閉的結構。

4.根據權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中所述通式(1)中的Y¹為亞環己基或雙亞環己基。

5.一種硬化膜的制造方法，其包括：

將根據權利要求1至4中任一項所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上的步驟；

自所涂布的感光性樹脂組合物中去除溶劑的步驟；

利用活性放射線對去除了溶劑的感光性樹脂組合物進行曝光的步驟；

利用顯影液對經曝光的感光性樹脂組合物進行顯影的步驟；以及

對經顯影的感光性樹脂組合物進行熱硬化的步驟。

6.根據權利要求5所述的硬化膜的制造方法，其中在所述顯影步驟后且所述熱硬化步驟前，包括對經顯影的感光性樹脂組合物進行曝光的步驟。

7.一種硬化膜，其是使根據權利要求1至4中任一項所述的感光性樹脂組合物硬化而成。

8.根據權利要求7所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。

9.一種液晶顯示裝置，其具有根據權利要求7或8所述的硬化膜。

10.一種有機電激發光顯示裝置，其具有根據權利要求7或8所述的硬化膜。

11.一種觸摸屏，其具有根據權利要求7或8所述的硬化膜。