[發明專利]用于拋光藍寶石表面的組合物及方法在審
| 申請號： | 201580046453.0 | 申請日： | 2015-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN106604807A | 公開（公告）日： | 2017-04-26 |
| 發明（設計）人： | S.卡夫 | 申請（專利權）人： | 嘉柏微電子材料股份公司 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00;B24B9/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所11105 | 代理人： | 宋莉,邢岳 |
| 地址： | 美國伊*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 拋光 藍寶石 表面 組合 方法 | ||
1.拋光藍寶石表面的方法，包括用拋光組合物研磨該藍寶石表面，該拋光組合物包含占該拋光組合物的約0.5至約20重量％的懸浮于水性介質中的膠態氧化硅，該拋光組合物具有酸性pH且包括占該拋光組合物的約0.0001至約1.0重量％的提高藍寶石移除速率的磷酸量。
2.權利要求1的方法，其中，該膠態氧化硅為該拋光組合物的約1至約10重量％。
3.權利要求1的方法，其中，該膠態氧化硅具有在約20至約200nm范圍內的平均粒度。
4.權利要求1的方法，其中，該膠態氧化硅具有在約20至約50nm范圍內的平均粒度。
5.權利要求1的方法，其中，該拋光組合物具有小于約6的pH。
6.權利要求1的方法，其中，該拋光組合物具有在約2.5至約5范圍內的pH。
7.權利要求1的方法，其中，該提高移除速率的磷酸量為該拋光組合物的約0.0005至約0.5重量％。
8.權利要求1的方法，其中，該提高移除速率的磷酸量為該拋光組合物的約0.0007至約0.03重量％。
9.權利要求1的方法，其中，該水性介質包含水。
10.權利要求1的方法，其中，該藍寶石表面為C面藍寶石表面。
11.權利要求1的方法，其中，該藍寶石表面為R面藍寶石表面。
12.權利要求1的方法，其中，該藍寶石表面為A面藍寶石表面。
13.拋光藍寶石表面的方法，包括：
(a)將拋光組合物施加至安裝在旋轉載體中的藍寶石晶片的表面，該拋光組合物包含懸浮于水性介質中的具有在約15至約200nm范圍內的平均粒度的膠態氧化硅，該拋光組合物具有低于約6的酸性pH且包括占該拋光組合物的約0.0001至約1.0重量％的提高藍寶石移除速率的磷酸量；且
(b)使用以所選旋轉速率圍繞垂直于該晶片的該表面的軸旋轉的具有平坦拋光表面的拋光墊研磨該晶片的該表面，該墊的該拋光表面是以所選的垂直于該晶片的該表面的下壓力水平按壓抵靠于該晶片的該表面，且該拋光組合物的至少一部分位于該墊的該拋光表面與該藍寶石晶片的該表面之間，從而，自該晶片的該表面移除藍寶石。
14.權利要求13的方法，其中，該膠態氧化硅以在該拋光組合物的約1至約20重量％范圍內的濃度存在。
15.權利要求13的方法，其中，該提高移除速率的磷酸量為該拋光組合物的約0.0007至約0.03重量％。
16.權利要求13的方法，其中，該拋光組合物具有在約2.5至約5范圍內的pH。
17.權利要求13的方法，其中，該膠態氧化硅具有在約20至約50nm范圍內的平均粒度。
18.權利要求13的方法，其中，該藍寶石表面為C面藍寶石表面。
19.權利要求13的方法，其中，該藍寶石表面為R面藍寶石表面。
20.權利要求13的方法，其中，該藍寶石表面為A面藍寶石表面。
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