[發(fā)明專利]用于EPI腔室的上圓頂

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580045879.4
• 申請(qǐng)日: 2015-08-14
• 公開（公告）號(hào): CN106796867B
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉樹坤;穆罕默德·圖格魯利·薩米爾;常安忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/67;H01L21/20
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó);趙靜

1.一種上圓頂，包括：

中央窗部分，其中所述中央窗部分朝向基板支撐件彎曲，并且其中所述中央窗部分具有：

寬度；

高度；和

窗口曲率，所述窗口曲率由至少10:1的所述寬度與所述高度的比例所界定，其中所述中央窗部分具有周緣，所述周緣形成具有支撐角度的切線表面；和

周邊凸緣，所述周邊凸緣具有：

平坦上表面；

平坦下表面；和

傾斜凸緣表面，所述周邊凸緣在所述中央窗部分的所述周緣處嚙合所述中央窗部分，所述傾斜凸緣表面具有第一表面，所述第一表面帶有從所述平坦上表面測(cè)量的小于35度的第一角度；

其中所述傾斜凸緣表面進(jìn)一步包括第二表面，所述第二表面連接所述中央窗部分的所述周緣和所述第一表面，所述第二表面具有第二角度，所述第二角度小于所述第一角度且大于所述支撐角度，并且其中所述切線表面具有端表面，所述切線表面的所述端表面具有與所述第二表面的端表面的流體過(guò)渡。

2.如權(quán)利要求1所述的上圓頂，其中所述第二表面具有端表面，所述第二表面的所述端表面具有與所述第一表面的端表面的流體過(guò)渡。

3.如權(quán)利要求1所述的上圓頂，其中所述第一角度的大小與所述第二角度的大小的比例為3:1。

4.一種上圓頂，包括：

中央窗部分，其中所述中央窗部分朝向基板支撐件彎曲，并且其中所述中央窗部分具有：

寬度；

高度；和

窗口曲率，所述窗口曲率由至少10:1的曲率半徑與所述寬度的比例所界定，其中所述中央窗部分具有周緣，所述周緣形成具有支撐角度的切線表面；和

周邊凸緣，所述周邊凸緣具有：

平坦上表面；

平坦下表面；和

傾斜凸緣表面，所述周邊凸緣在所述中央窗部分的所述周緣處嚙合所述中央窗部分，所述傾斜凸緣表面具有第一表面，所述第一表面帶有從所述平坦上表面測(cè)量的小于35度的第一角度；

其中所述傾斜凸緣表面進(jìn)一步包括第二表面，所述第二表面連接所述中央窗部分的所述周緣和所述第一表面，所述第二表面具有第二角度，所述第二角度小于所述第一角度且大于所述支撐角度，并且其中所述切線表面具有端表面，所述切線表面的所述端表面具有與所述第二表面的端表面的流體過(guò)渡。

5.如權(quán)利要求4所述的上圓頂，其中所述曲率半徑與所述寬度的所述比例大于50:1。

6.一種用于熱處理腔室中的圓頂組件，包括：

上圓頂，包含：

水平表面；

中央窗部分，所述中央窗部分朝向基板支撐件彎曲，所述中央窗部分具有高度、寬度和窗口曲率，所述窗口曲率由至少10:1的所述寬度與所述高度的比例所界定，所述中央窗部分具有周緣，所述周緣形成具有支撐角度的切線表面；和

周邊凸緣，所述周邊凸緣具有傾斜凸緣表面，所述周邊凸緣在所述中央窗部分的所述周緣處嚙合所述中央窗部分，所述傾斜凸緣表面在第一角度處具有第一表面，所述第一角度為從所述水平表面測(cè)量的小于35度的角度，其中所述傾斜凸緣表面進(jìn)一步包括第二表面，所述第二表面連接所述中央窗部分的所述周緣和所述第一表面，所述第二表面具有第二角度，所述第二角度小于所述第一角度且大于所述支撐角度，并且其中所述切線表面具有端表面，所述切線表面的所述端表面具有與所述第二表面的端表面的流體過(guò)渡；和

下圓頂，所述下圓頂與所述上圓頂相對(duì)，所述下圓頂與所述上圓頂界定出內(nèi)部區(qū)域。

7.如權(quán)利要求6所述的圓頂組件，其中所述支撐角度小于10度。

8.如權(quán)利要求7所述的圓頂組件，其中所述切線表面具有端點(diǎn)，所述切線表面的所述端點(diǎn)與所述第二表面的端點(diǎn)共線，以及其中所述第二表面具有端點(diǎn)，所述第二表面的所述端點(diǎn)與所述第一表面的端點(diǎn)共線。

9.如權(quán)利要求6所述的圓頂組件，其中所述周邊凸緣具有小于50mm的厚度。