[發(fā)明專(zhuān)利]使用XPS和XRF技術(shù)的多層和多過(guò)程信息的前饋在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580045322.0 | 申請(qǐng)日： | 2015-06-19 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106574904A | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-04-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 希瑟·A·波伊斯;李維迪;勞倫斯·V·博特;邁克爾·C·關(guān);馬克·克拉雷;查理斯·托馬斯·拉森 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 瑞沃拉公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01N23/22 | 分類(lèi)號(hào)： | G01N23/22;G01N23/223;G01N23/227;G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11240 | 代理人： | 梁麗超,陳鵬 |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 使用 xps xrf 技術(shù) 多層 過(guò)程 信息 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
G01 測(cè)量；測(cè)試
G01N 借助于測(cè)定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N23-00 利用未包括在G01N 21/00或G01N 22/00組內(nèi)的波或粒子輻射來(lái)測(cè)試或分析材料，例如X射線(xiàn)、中子
G01N23-02 .通過(guò)使輻射透過(guò)材料
G01N23-20 .利用輻射的衍射，例如，用于測(cè)試晶體結(jié)構(gòu)；利用輻射的反射
G01N23-22 .通過(guò)測(cè)量二次發(fā)射
G01N23-221 ..利用活化分析法
G01N23-223 ..通過(guò)用X射線(xiàn)輻照樣品以及測(cè)量X射線(xiàn)熒光
G01N 借助于測(cè)定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N23-00 利用未包括在G01N 21/00或G01N 22/00組內(nèi)的波或粒子輻射來(lái)測(cè)試或分析材料，例如X射線(xiàn)、中子
G01N23-02 .通過(guò)使輻射透過(guò)材料
G01N23-20 .利用輻射的衍射，例如，用于測(cè)試晶體結(jié)構(gòu)；利用輻射的反射
G01N23-22 .通過(guò)測(cè)量二次發(fā)射
G01N23-221 ..利用活化分析法
G01N23-223 ..通過(guò)用X射線(xiàn)輻照樣品以及測(cè)量X射線(xiàn)熒光
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- 防止技術(shù)開(kāi)啟的鎖具新技術(shù)
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