[發明專利]顯示面板的制造方法

在審

• 申請號: 201580045229.X
• 申請日: 2015-08-18
• 公開（公告）號: CN106660079A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 山口勝寬
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;G02F1/13;G09F9/00
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所11323
• 代理人: 權鮮枝,張艷鳳

技術領域

本發明涉及顯示面板的制造方法。

背景技術

以往，作為一種顯示面板的液晶面板的制造方法已知下述專利文獻1中記載的方法。在該專利文獻1中，在清洗液晶用玻璃基板時，在大氣壓附近的壓力下，在含有4體積％以上的氧的氣氛中，在相對的一對電極中的至少一方的相對面設置固體電介質，使通過對該一對相對電極間施加脈沖化的電場而產生的放電等離子體與液晶用玻璃基板接觸，由此能流水線化，并且實現大面積處理、處理的高速化。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：特開2002-143795號公報

發明內容

發明要解決的問題

上述專利文獻1以高速清洗液晶用玻璃基板的有機污物等為目的，因此是在特定的條件(4體積％以上的氧氣氛)下進行等離子體清洗。然而，在該專利文獻1記載的等離子體清洗中，存在如下問題：將牢固地固定到液晶用玻璃基板的表面的異物充分地分解或分離是困難的，由這樣的異物引起的不合格率的改善是困難的。

本發明是基于上述情況而完成的，其目的在于改善顯示面板的合格率。

用于解決問題的方案

本發明的顯示面板的制造方法具備：濕式清洗工序，對顯示基板的表面進行濕式清洗；等離子體清洗工序，在上述濕式清洗工序之前和之后中的至少一方進行，通過對上述顯示基板的表面照射等離子體來清洗該表面；以及偏振板貼附工序，在結束上述濕式清洗工序和上述等離子體清洗工序后，將偏振板貼附到上述顯示基板的表面。

在濕式清洗工序中，通過對顯示基板的表面進行濕式清洗，將附著到顯示基板的表面的異物除去。在該濕式清洗工序中，通過選擇清洗方式、清洗液，能高效地除去附著到顯示基板的表面的水溶性異物、油溶性異物等。另一方面，在等離子體清洗工序中，通過對顯示基板的表面照射等離子體來清洗該表面，由此將固定到顯示基板的表面的異物除去。在該等離子體清洗工序中，能將在上述濕式清洗工序中難以分解、分離的牢固地固定到顯示基板的表面的異物高效地分解或分離。

這樣，先于偏振板貼附工序而進行濕式清洗工序和干式等離子體清洗工序，因此在偏振板貼附工序中，在將偏振板貼附到顯示基板的表面時不易產生以夾在顯示基板和偏振板之間的形式殘存異物的情況。由此，不易產生由夾在顯示基板和偏振板之間的異物引起的顯示不良，從而制造的顯示面板的合格率變高。而且，先于偏振板貼附工序而進行等離子體清洗工序，從而在偏振板貼附工序中貼附到顯示基板的表面的偏振板的緊貼性變高。由此，在顯示基板和偏振板之間不易產生氣泡，因此不易產生由這樣的氣泡引起的不良，另外，在偏振板貼附工序之后能不需要用于除去氣泡的脫泡工序，因此能實現顯示面板的制造成本的低廉化。

作為本發明的實施方式，優選如下構成。

(1)上述等離子體清洗工序在上述濕式清洗工序之前進行。這樣，在等離子體清洗工序中，牢固地固定到顯示基板的表面的異物通過等離子體的照射而成為從該表面分離的狀態。通過在該等離子體清洗工序之后進行濕式清洗工序，能高效地除去從顯示基板的表面分離的異物。由此，不易產生在等離子體清洗工序中從顯示基板的表面分離的異物在偏振板貼附工序中還殘存在顯示基板的表面上的情況，因此，制造的顯示面板的合格率進一步變高。

(2)在上述濕式清洗工序和上述等離子體清洗工序中，對上述顯示基板中的至少顯示圖像的顯示區域的整個區域進行清洗。這樣，通過對至少顯示圖像的顯示區域的整個區域進行濕式清洗和等離子體清洗，不易產生在顯示區域中異物夾在顯示基板和偏振板之間的情況，并且不易產生由該異物引起的顯示不良。

(3)在上述等離子體清洗工序中，將等離子體的照射所使用的等離子體照射裝置的輸出設為200W～500W的范圍來進行等離子體的照射。這樣，等離子體的照射所使用的等離子體照射裝置的輸出在低于200W時，有可能無法充分地進行牢固地固定到顯示基板的表面的異物的分解、分離，而在高于500W時，照射的等離子體有可能對設置于顯示基板的用于顯示的結構物(配線等)造成不良影響。在這點上，通過將在等離子體清洗工序中等離子體的照射所使用的等離子體照射裝置的輸出設為200W～500W的范圍，能將牢固地固定到顯示基板的表面的異物充分地分解或分離，并且不易產生所照射的等離子體對設置于顯示基板的用于顯示的結構物(配線等)造成不良影響的情況。