[發明專利]通過蒸餾和吸附進行氯硅烷提純有效
| 申請號： | 201580045114.0 | 申請日： | 2015-10-07 |
| 公開（公告）號： | CN106573182B | 公開（公告）日： | 2019-03-08 |
| 發明（設計）人： | M·艾格納;U·佩措爾德;J·普羅哈斯卡 | 申請（專利權）人： | 瓦克化學股份公司 |
| 主分類號： | B01D3/14 | 分類號： | B01D3/14;C01B33/08;C01B33/107;B01D3/32 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 過曉東 |
| 地址： | 德國*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 通過 蒸餾 吸附 進行 硅烷 提純 | ||
【權利要求書】：
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