[發(fā)明專利]穩(wěn)定的分光儀及用于穩(wěn)定分光儀的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580045060.8
• 申請日: 2015-06-17
• 公開（公告）號: CN107076610A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 亞爾科·安蒂拉
• 申請（專利權(quán)）人: 光譜引擎股份公司
• 主分類號: G01J3/12
• 分類號: G01J3/12;G01J3/02;G01J3/28;G02F1/21;G02B26/00;G02B5/20
• 代理公司: 北京聿宏知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建,陳偉

1.一種用于確定法布里-珀羅干涉儀(100)的光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)(λ_cal(S_d),S_d,cal(λ))的方法，所述方法包括：

-通過采用陷波濾波器(60)對輸入光(LB1)進(jìn)行濾波而形成光譜陷波(NC2)，以使得所述光譜陷波(NC2)對應(yīng)于所述陷波濾波器(60)的透射率陷波(NC1)，

-通過改變所述法布里-珀羅干涉儀(100)的鏡間隙(d_FP)，并且通過提供表示所述鏡間隙(d_FP)的控制信號(S_d)，來測量所述光譜陷波(NC2)的光譜強(qiáng)度分布(M(S_d))，以及

-通過使測量的光譜強(qiáng)度分布(M(S_d))與所述陷波濾波器(60)的光譜透射率(T_N(λ))相匹配，來確定所述光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)(λ_cal(S_d),S_d,cal(λ))。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)(λ_cal(S_d),S_d,cal(λ))確定了用于從所述控制信號(S_d)的數(shù)值獲得光譜位置(λ)的關(guān)系。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其包括：

-當(dāng)干涉儀(100)的透射峰(P_FP,k)與所述光譜陷波(NC2)大體吻合時(shí)，對所述光譜強(qiáng)度分布M(S_d)進(jìn)行分析，從而確定與第一鏡間隙(d_FP)相關(guān)聯(lián)的第一控制信號值(S_N1)，

-在所述第一控制信號值(S_N1)與所述透射率陷波(NC1)的第一光譜位置(λ_N1)之間形成第一關(guān)聯(lián)關(guān)系(λ_N1,S_N1)，以及

-基于所述第一關(guān)聯(lián)關(guān)系(λ_N1,S_N1)來確定所述干涉儀(100)的所述光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)(λ_cal(S_d))。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的方法，其中，所述陷波濾波器(60)布置成限定所述干涉儀(100)的探測帶(Δλ_PB)的截止波長(λ_CUT1,λ_CUT2)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法，其包括在所述陷波濾波器(60)的第一操作溫度(T_op)下確定第一光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)(λ_cal(S_d))，并且在所述陷波濾波器(60)的第二操作溫度(T_op)下確定第二光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)(λ_cal(S_d))，其中所述第二光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)與所述第一光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)不同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的方法，其中，在所述光譜陷波(NC2)與所述干涉儀(100)的探測帶(Δλ_PB)的較短的波長一側(cè)之間的光譜分離(λ_N1-λ_CUT1)，在所述探測帶(Δλ_PB)的光譜寬度(λ_CUT2-λ_CUT1)的5％至50％的范圍內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的方法，其包括測量強(qiáng)度值(I₃,S_DET1)，并且使測量的強(qiáng)度值(I₃,S_DET1)與光譜位置(λ_X1)相關(guān)聯(lián)，其中，所述光譜位置(λ_X1)由以下確定：

-獲得與所述強(qiáng)度值(I₃,S_DET1)相關(guān)聯(lián)的控制信號值(S_X1)，并且

-通過利用所述光譜標(biāo)定數(shù)據(jù)(λ_cal(S_d))來從所述控制信號值(S_X1)確定所述光譜位置(λ_X1)。