[發明專利]用作可伸展和可彎曲互連部的鍵合線的塑形和成環裝置及方法

在審

• 申請號: 201580044924.4
• 申請日: 2015-09-21
• 公開（公告）號: CN107004665A
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發明（設計）人: 戴維德·G·加洛克;李夏;桑賈伊·古普塔;米圖爾·達拉爾
• 申請（專利權）人: MC10股份有限公司
• 主分類號: H01L23/49
• 分類號: H01L23/49
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司11290
• 代理人: 姚鵬,曹正建

1.一種用于在鍵合焊盤對之間饋送、彎曲和附接鍵合線的毛細工具，其包括：

主體，所述主體具有從所述毛細工具的第一面延伸至所述毛細工具的第二面的內管道，所述內管道具有大體上螺旋形狀的部分，具有大體上螺旋形狀的所述部分包括圍繞所述主體的中心軸線的至少一個完整回轉的一部分；和

加熱元件，所述加熱元件連接至所述主體以提供沿著所述內管道的一部分的熱影響區，當所述鍵合線通過所述內管道被饋送時，所述加熱元件加熱所述鍵合線。

2.如權利要求1所述的毛細工具，其中，所述內管道的具有大體上螺旋形狀的所述部分使所述鍵合線的被分配部分具有作為所述內管道的大體上螺旋形狀的函數的大體上螺旋形狀。

3.如權利要求2所述的毛細工具，其中，所述鍵合線的所述被分配部分包括一個或多個完整回轉。

4.如權利要求2所述的毛細工具，其中，所述鍵合線的所述被分配部分的大體上螺旋形狀不同于所述內管道的大體上螺旋形狀。

5.如權利要求1所述的毛細工具，其中，所述內管道的具有大體上螺旋形狀的所述部分是根據管道幾何設計參數而設計的，所述管道幾何設計參數包括(i)管道回轉直徑，(ii)管道回轉總長度，和(iii)管道回轉數。

6.如權利要求1所述的毛細工具，其中，圍繞所述主體的所述中心軸線的所述至少一個完整回轉的一部分包括圍繞所述主體的所述中心軸線的至少一個完整回轉。

7.如權利要求1所述的毛細工具，其中，圍繞所述主體的所述中心軸線的所述至少一個完整回轉的一部分包括圍繞所述主體的所述中心軸線的至少兩個完整回轉。

8.如權利要求1所述的毛細工具，其中，圍繞所述主體的所述中心軸線的所述至少一個完整回轉的一部分包括圍繞所述主體的所述中心軸線的至少四個完整回轉。

9.如權利要求1所述的毛細工具，其中，圍繞所述主體的所述中心軸線的所述至少一個完整回轉的一部分具有大體上恒定的節距。

10.如權利要求1所述的毛細工具，其中，圍繞所述主體的所述中心軸線的所述至少一個完整回轉的一部分具有：具有第一節距的第一部分和具有第二節距的第二部分。

11.如權利要求1所述的毛細工具，其中，所述主體的第一部分具有大體上圓柱形狀且所述主體的第二部分具有大體上圓錐形狀，所述加熱元件在所述主體的所述第一部分中連接至所述主體，并且所述內管道的具有大體上螺旋形狀的所述部分在所述主體的第一部分中被布置在所述加熱元件與所述主體的所述第二部分之間。

12.一種用于在鍵合焊盤對之間附接鍵合線的方法，所述方法包括以下步驟：

從毛細工具的尖端分配所述鍵合線的一部分；

形成與所述毛細工具的所述尖端相鄰的無空氣球，所述無空氣球由所述鍵合線的被分配部分的至少一部分形成；

將所述毛細工具放置為使得所述無空氣球接觸所述鍵合焊盤的第一鍵合焊盤和所述毛細工具的所述尖端的至少一部分；

使用所述毛細工具將壓力、熱量和超聲波能量施加于所述無空氣球和所述第一鍵合焊盤以將所述鍵合線附接至所述第一鍵合焊盤；

朝著所述鍵合焊盤的第二鍵合焊盤移動所述毛細工具使得通過所述毛細工具的所述內管道從所述毛細工具分配所述鍵合線，所述內管道具有大體上螺旋形狀的部分，具有大體上螺旋形狀的所述部分包括圍繞所述毛細工具的中心軸線的至少一個完整回轉的一部分，所述大體上螺旋形狀使被分配的鍵合線的至少一部分具有大體上螺旋形狀；以及

將所述毛細工具放置為使得所述鍵合線的一部分接觸所述第二鍵合焊盤；且

使用所述毛細工具將壓力、熱量和超聲波能量施加于所述鍵合線的與所述第二鍵合焊盤接觸的所述一部分以將所述鍵合線附接至所述第二鍵合焊盤。

13.如權利要求12所述的方法，其中，所述被分配的鍵合線的所述至少一部分包括兩個或以上的完整回轉。

14.如權利要求12所述的方法，其中，圍繞所述毛細工具的所述中心軸線的所述至少一個完整回轉的一部分包括圍繞所述毛細工具的所述中心軸線的至少一個完整回轉。

15.如權利要求12所述的方法，其中，圍繞所述毛細工具的所述中心軸線的所述至少一個完整回轉的一部分包括圍繞所述毛細工具的所述中心軸線的至少兩個完整回轉。