[發(fā)明專利]從掩膜、載具和沉積工具部件移除沉積材料的剝離工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580044719.8
• 申請日: 2015-08-28
• 公開（公告）號: CN106999995A
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋道英;秉圣·利奧·郭
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;C23C14/56;C23C16/44
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國,趙靜

1.一種用于從諸如掩膜、載具和其他材料沉積系統(tǒng)部件的單個或多個工件剝離沉積材料的方法，包含：

提供工件，具有涂覆所述工件的表面的沉積材料層；

將所述工件浸沒在超聲波浴中并將超聲波能量施加于所述工件上，其中所述超聲波浴含有流體且所述流體保持在從大于室溫到小于所述流體沸點的范圍內(nèi)的恒溫下，其中所述恒溫經(jīng)選擇以提供所述沉積材料層與所述工件之間的明顯的CTE(熱膨脹系數(shù))失配，以促進從所述工件剝離所述沉積材料層，且其中所述超聲波浴中的處理時間在幾秒至120分鐘的范圍內(nèi)，以使所述沉積材料層松動；

通過利用液體沖洗來清洗所述工件；以及

干燥所述工件。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，進一步包含：機械磨蝕所述工件上的所述沉積材料層。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述浴中的所述流體保持在從60℃到80℃的范圍內(nèi)的溫度下。

4.一種用于從諸如掩膜、載具和其他材料沉積系統(tǒng)部件的單個或多個工件剝離沉積材料的方法，包含：

提供工件，具有涂覆所述工件的表面的沉積材料層；

將所述工件浸沒在超聲波浴中并將超聲波能量施加于所述工件上，其中所述超聲波浴含有流體且在室溫與小于所述流體沸點之間的范圍內(nèi)選擇的ΔT下循環(huán)所述流體，其中所述工件在所述超聲波浴中的浸沒期間在ΔT下經(jīng)受多個循環(huán)，其中所述ΔT經(jīng)選擇以提供所述沉積材料層與所述工件之間存在明顯CTE(熱膨脹系數(shù))失配的溫度偏差，以促進從所述工件剝離所述沉積材料層，且其中所述超聲波浴中的處理時間在幾秒至120分鐘的范圍內(nèi)，以使所述沉積材料層松動；

通過利用液體沖洗來清洗所述工件；以及

干燥所述工件。

5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中所述ΔT小于或等于80℃。

6.如權(quán)利要求4所述的方法，其中ΔT介于30℃與50℃之間。

7.如權(quán)利要求4所述的方法，進一步包含以下步驟：機械磨蝕所述工件上的所述沉積材料層。

8.如權(quán)利要求1或4所述的方法，進一步包含：在所述施加超聲波能量的步驟后，利用研磨材料擦洗所述工件以便從所述工件的所述表面移除任何殘留沉積材料中的大部分。

9.如權(quán)利要求1或4所述的方法，進一步包含：在所述施加超聲波能量的步驟后，利用稀酸處理所述工件以有助于移除所述工件的所述表面上的任何殘留沉積材料。

10.如權(quán)利要求1或4所述的方法，其中所述液體包含水。

11.如權(quán)利要求1或4所述的方法，其中所述液體包含有機溶劑。

12.一種用于從諸如掩膜、載具和其他材料沉積系統(tǒng)部件的單個或多個工件剝離沉積材料的系統(tǒng)，包含：

第一設(shè)備，用于自動機械磨蝕涂有沉積材料層的工件；

第二設(shè)備，用于在溫度受控流體中將超聲波能量施加于所述工件上；

第三設(shè)備，用于利用研磨材料擦洗所述工件上的所述沉積材料層；

第四設(shè)備，用于酸處理所述工件上的任何殘余涂層；

第五設(shè)備，用于使用液體沖洗來清洗所述工件；以及

第六設(shè)備，用于干燥所述工件。

13.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述系統(tǒng)具有輸送器，所述輸送器用于在系統(tǒng)與系統(tǒng)之間移動所述工件。

14.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述第二設(shè)備經(jīng)構(gòu)造用于使所述工件完全浸沒在所述溫度受控流體中。

15.如權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，其中所述第三設(shè)備經(jīng)構(gòu)造用于在潮濕環(huán)境中利用研磨材料擦洗所述工件上的所述沉積材料層。