[發明專利]溫度測量設備、設備制造方法以及包括該設備的碰撞點測量系統

在審

• 申請號: 201580044622.7
• 申請日: 2015-08-17
• 公開（公告）號: CN107076622A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 喬斯·弗朗西斯科·里瓦杜利亞費爾南德斯;蒂尼·聰裴
• 申請（專利權）人: 圣地亞哥德孔波斯特拉大學
• 主分類號: G01K7/36
• 分類號: G01K7/36
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 杜誠,陳煒

1.一種溫度測量設備(1)，其特征在于包括：

·磁性金屬薄膜片(2)，所述磁性金屬薄膜片由多個區域(3)形成，并且所述多個區域中的每個區域包括電壓讀取裝置(4)，所述電壓讀取裝置在所述每個區域中包括金屬材料沉積物；

使得在操作中并且在存在施加的磁場(7)的情況下，所述多個區域中的一個區域中的溫度變化(6)在所述一個區域中產生電壓(8)，所述電壓能夠通過對應于所述一個區域的電壓讀取裝置(4)來讀取。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述片(2)的厚度在10nm至100nm的范圍內。

3.根據權利要求1或2中任一項所述的設備，其特征在于，所述片(2)的磁性金屬材料選自：

·半金屬磁性材料；

·鈣鈦礦氧化物材料；

·坡莫合金型合金；

·鎳鉻合金；

·室溫下的金屬鐵磁性元素。

4.根據權利要求3所述的設備，其特征在于，所述半金屬磁性材料選自La_2/3Sr_1/3MnO₃、La_2/3Ca_1/3MnO₃、Fe₃O₄。

5.根據權利要求3所述的設備，其特征在于，所述金屬鐵磁性元素選自Fe、Ni。

6.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述沉積物(4)由選自鉑、金、鈀、銀、銅、鋁的材料制成。

7.根據權利要求1或6中任一項所述的設備，其特征在于，所述沉積物(4)是點狀沉積物。

8.根據權利要求6和7中任一項所述的設備，其特征在于，同一區域的沉積物之間的間隔在微米至毫米的范圍內。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的設備，其特征在于，所述設備還包括在其上沉淀所述磁性金屬薄膜片(2)的襯底。

10.一種用于測量粒子的碰撞點的系統，其特征在于包括：

·根據權利要求1至9中任一項所述的溫度測量設備(1)；以及

·由動能吸收材料制成的片(5)，所述片(5)被配置成將粒子的動能轉換成溫度變化。

11.一種用于測量輻射束的碰撞點的系統，其特征在于包括：

·根據權利要求1至9中任一項所述的溫度測量設備(1)；以及

·由輻射吸收材料制成的片(5)，所述片(5)被配置成將輻射束能量轉換成熱。

12.一種用于制造溫度測量設備(1)的方法，其特征在于包括：

·提供包括前體陽離子和聚合物的水溶液；

·通過沉積處理在襯底上沉積所述水溶液；

·使所述襯底經受加熱處理；以及

·在所述襯底中生成多個金屬沉積物(4)。

13.根據權利要求12所述的方法，其特征在于，所述沉積處理是物理真空沉積處理。

14.根據權利要求13所述的方法，其特征在于，所述物理真空沉積處理選自：

·旋轉涂布；

·濺射；

·原子層沉積；

·脈沖激光沉積(PLD)。

15.根據權利要求12至14中任一項所述的方法，其特征在于，所述在所述襯底中生成多個金屬沉積物(4)包括：

o在所述襯底上沉積金屬；

o向所述襯底施加掩模；以及

o應用光刻處理以在所述襯底上獲得多個點狀金屬沉積物。

16.根據權利要求12至15中任一項所述的方法，其特征在于，所述前體陽離子選自La、Sr、Ca、Mn、Fe、Cr、Ni。

17.根據權利要求12至16中任一項所述的方法，其特征在于，所述聚合物選自PEI水溶性聚合物或殼聚糖。

18.根據權利要求12至17中任一項所述的方法，其特征在于，所述前體陽離子的濃度在毫摩爾范圍內。

19.根據權利要求12至18中任一項所述的方法，其特征在于，所述聚合物的濃度在毫摩爾范圍內。