[發明專利]三維薄膜電池在審
| 申請號： | 201580044474.9 | 申請日： | 2015-08-27 |
| 公開（公告）號： | CN106663841A | 公開（公告）日： | 2017-05-10 |
| 發明（設計）人： | 宋道英;秉圣·利奧·郭 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | H01M10/0585 | 分類號： | H01M10/0585;H01M10/04;H01M4/66 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金國,趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 三維 薄膜 電池 | ||
1.一種薄膜電池，包含：
基板，包含基板表面；
第一集電器(FCC)層，形成在所述基板表面上，所述FCC層具有第一FCC表面和第二FCC表面，并且其中所述第一FCC表面與所述基板接觸，而且所述第二FCC表面為第一三維表面；
第一電極層，沉積在所述第一集電器上；以及
電解質層，沉積在所述第一電極層上；
其中所述第一電極層與所述電解質層之間的界面為第二三維表面，所述第二三維表面大致與所述第一三維表面一致。
2.如權利要求1所述的薄膜電池，其中所述第一三維表面包含圖案化形狀的陣列。
3.如權利要求1所述的薄膜電池，其中所述基板表面為第三三維表面，而且所述第一三維表面大致與所述第三三維表面一致。
4.如權利要求1所述的薄膜電池，進一步包含：
第二電極層，沉積在所述電解質層上；以及
第二集電器(SCC)層，沉積在所述第二電極層上；
其中所述電解質層沉積在所述第一電極層上，并且其中所述第二電極層與所述電解質層之間的界面為第四三維表面，所述第四三維表面大致與所述第一三維表面一致。
5.如權利要求4所述的薄膜電池，其中所述第二電極層與所述SCC層之間的界面為第五三維表面，所述第五三維表面大致與所述第四三維表面一致。
6.如權利要求1所述的薄膜電池，其中所述FCC層為陰極集電器層，并且所述第一電極層為陰極層。
7.如權利要求1所述的薄膜電池，其中所述FCC層為陽極集電器層，并且所述第一電極層為陽極層。
8.如權利要求4所述的薄膜電池，其中所述FCC層為陰極集電器層，并且所述第一電極層為陰極層，而且其中所述第二電極層為陽極，并且所述SCC層為陽極集電器層。
9.如權利要求4所述的薄膜電池，其中所述FCC層為陽極集電器層并且所述第一電極層為陽極層，而且其中所述第二電極層為陰極并且所述SCC層為陰極集電器層。
10.一種制造薄膜電池的方法，包含：
提供基板；
三維重建所述基板的表面以形成重建基板表面；
在所述重建基板表面上沉積第一集電器(FCC)層；
在所述FCC層上沉積電極層；以及
在所述電極層上沉積電解質層；
其中所述電極層與所述電解質層之間的界面為第一三維表面，所述第一三維表面大致與所述重建基板表面一致。
11.如權利要求10所述的方法，進一步包含：
在所述電解質層上沉積第二電極層；
其中所述電解質層與所述第二電極層之間的界面為第二三維表面，所述第二三維表面大致與所述重建基板表面一致。
12.一種制造薄膜電池的方法，包含以下步驟：
提供基板；
在所述基板的表面上沉積第一集電器(FCC)層；
三維重建所述FCC層的表面以形成重建FCC表面；
在所述重建FCC表面上沉積第一電極層；以及
在所述第一電極層上沉積電解質層；
其中所述第一電極層與所述電解質層之間的界面為第一三維表面，所述第一三維表面大致與所述重建FCC表面一致。
13.如權利要求10或12所述的方法，其中所述三維重建包含激光剝蝕圖案化工藝。
14.如權利要求12所述的方法，其中所述三維重建包含機械粗糙化工藝。
15.如權利要求12所述的方法，進一步包含：
在所述電解質層上沉積第二電極層；
其中所述電解質層與所述第二電極層之間的界面為第二三維表面，所述第二三維表面大致與所述重建第一集電器表面一致。
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