[發明專利]在標靶生命期的期間維持低非均勻性的方法和設備有效
| 申請號： | 201580043811.2 | 申請日： | 2015-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN106574363B | 公開（公告）日： | 2019-07-12 |
| 發明（設計）人： | 威廉·約翰森;張富宏;阿道夫·米勒·艾倫;劉宇一 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/14;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國;趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 生命 期間 維持 均勻 方法 設備 | ||
【權利要求書】：
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