[發明專利]氧化鋁基板有效
| 申請號： | 201580042856.8 | 申請日： | 2015-08-06 |
| 公開（公告）號： | CN106661762B | 公開（公告）日： | 2018-12-18 |
| 發明（設計）人： | 山澤和人;大井戶敦;川崎克己 | 申請（專利權）人： | TDK株式會社 |
| 主分類號： | C30B29/38 | 分類號： | C30B29/38;C30B19/12;C30B25/18 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 楊琦;伍飏 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氧化鋁 | ||
【權利要求書】：
1.一種氧化鋁基板，其特征在于：
在氧化鋁基板表面上形成有AlN層，并且包含碳含有相，
所述碳含有相是以(AlN)x(Al4C3)y表示的組成，在此，x以及y為不包括0的正數。
2.如權利要求1所述的氧化鋁基板，其特征在于：
所述碳含有相是以Al5C3N表示的組成。
3.如權利要求1或2所述的氧化鋁基板，其特征在于：
所述AlN層的厚度為0.02μm～100μm。
4.如權利要求1或2所述的氧化鋁基板，其特征在于：
所述氧化鋁基板為藍寶石。
5.如權利要求4所述的氧化鋁基板，其特征在于：
所述AlN層的相對于基板主面的面方向與基板主面的面方向相一致。
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