[發明專利]穩定的軟磁性合金納米顆粒的氣相合成

有效

• 申請號: 201580042679.3
• 申請日: 2015-08-06
• 公開（公告）號: CN106660121B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: J·威爾尼爾斯;M·本勒梅齊·埃勒特比;金政煥;R·E·迪亞斯·里瓦斯;M·I·索萬
• 申請（專利權）人: 學校法人沖繩科學技術大學院大學學園
• 主分類號: B22F1/02
• 分類號: B22F1/02;B22F1/00;B22F9/12;H01F1/20
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;解延雷

1.一種軟磁性納米顆粒，其包含作為核的DO₃相鐵鋁化物納米合金，所述鐵鋁化物納米合金包封在由氧化鋁制成的惰性殼中，

其中，所述惰性殼包含Al₂O₃和FeAl₂O₄，并且

其中，由鐵鋁化物制成的所述核是結晶相，并且所述惰性殼是非晶相。

2.如權利要求1所述的軟磁性納米顆粒，其還包含所述納米顆粒上的聚合物涂層。

3.如權利要求2所述的軟磁性納米顆粒，其中，所述聚合物是阿拉伯膠(GA)。

4.如權利要求1所述的軟磁性納米顆粒，其中，所述納米顆粒具有在300K下等于約170emu/g以上的飽和磁化強度和在300K下為約20Oe以下的矯頑磁性。

5.一種形成軟磁性納米顆粒的方法，所述軟磁性納米顆粒各自包含作為核的DO₃相鐵鋁化物納米合金，所述鐵鋁化物納米合金包封在由氧化鋁制成的惰性殼中，其中，所述惰性殼包含Al₂O₃和FeAl₂O₄，并且其中，由鐵鋁化物制成的所述核是結晶相，并且所述惰性殼是非晶相，所述方法包括：

通過在Ar氣氛下共濺射Fe原子和Al原子而在聚集區中產生Al和Fe金屬原子的過飽和蒸氣；

由所述過飽和蒸氣產生較大的納米顆粒；

使所述較大的納米顆粒穿過孔，在所述孔的前后具有壓差，從而生成從所述孔中逸出的所述納米顆粒的納米團簇束；和

將所述納米團簇束引導至基板以將所述納米顆粒沉積到所述基板上。

6.如權利要求5所述的方法，其中，所述產生過飽和蒸氣的步驟包括對Al靶材和對Fe靶材施加單獨的磁控管功率來進行濺射。

7.如權利要求5所述的方法，其還包括將沉積在所述基板上的所述納米顆粒暴露至氧化物，以將所述納米顆粒的表面氧化。