[發(fā)明專利]共振裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580041879.7
• 申請日: 2015-09-18
• 公開（公告）號: CN106664073B
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設計）人: 后藤雄一;廣田和香奈
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/10;H03H9/24
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;李洋

在共振裝置中，實現(xiàn)薄型化并且抑制變形、破損。共振裝置具備：下側(cè)基板；上側(cè)基板，與下側(cè)基板之間形成振動空間；突起部，形成在下側(cè)基板或者上側(cè)基板的內(nèi)面，并向振動空間突出；以及共振子，被配置在振動空間內(nèi)。共振子具有基部、和從基部并列地沿下側(cè)基板或者上側(cè)基板的內(nèi)面延伸并朝向內(nèi)面在垂直方向進行振動的多個振動臂。

技術領域

本發(fā)明涉及多個振動臂以面外彎曲振動模式進行振動的共振裝置。

背景技術

以往，使用了MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微機電系統(tǒng))技術的共振裝置例如作為定時器件被使用。該共振裝置被安裝在設置于智能手機等電子設備內(nèi)的印刷電路基板上。共振裝置具備下側(cè)基板、與下側(cè)基板之間形成腔室的上側(cè)基板、以及在下側(cè)基板以及上側(cè)基板之間被配置于腔室內(nèi)的共振子。

共振子具備向形成在下側(cè)基板以及上側(cè)基板之間的腔室內(nèi)延伸的基部、和在腔室內(nèi)從與基部的一端連接的固定端朝向自由端并列地延伸的多個振動臂。各振動臂根據(jù)被施加的電場的方向，在垂直方向朝向下側(cè)基板或者上側(cè)基板振動。例如在具備三個振動臂的共振子中，對中央的一個振動臂、和其兩外側(cè)的兩根振動臂施加相反方向的電場，中央的振動臂與外側(cè)兩根振動臂相互以相反相位振動。

專利文獻1：日本特開2003－204240號公報

隨著近年來的電子設備的小型化而要求共振裝置的小型化，因此，例如期望降低在上述的垂直方向規(guī)定的共振裝置的厚度來實現(xiàn)薄型化。鑒于此，為了充分地確保振動臂的振動空間并降低共振裝置的厚度，可考慮降低下側(cè)基板、上側(cè)基板的厚度。然而，基板的厚度的降低會導致基板的剛性的降低，可想象到基板會產(chǎn)生翹曲等變形、由于電子設備的落下時的沖擊而基板破損的情況。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這樣的情況而完成的，其目的在于，在共振裝置中實現(xiàn)薄型化并且抑制變形、破損。

本發(fā)明的一個方面所涉及的共振裝置具備：下側(cè)基板；上側(cè)基板，與下側(cè)基板之間形成振動空間；突起部，形成在下側(cè)基板或者上側(cè)基板的內(nèi)面，并向振動空間突出；以及共振子，被配置在振動空間內(nèi)，且具有基部、和從基部并列地沿下側(cè)基板或者上側(cè)基板的內(nèi)面延伸并朝向內(nèi)面在垂直方向進行振動的多個振動臂。

根據(jù)本發(fā)明，在共振裝置中，能夠?qū)崿F(xiàn)薄型化并且抑制變形、破損。

附圖說明

圖1是簡要地表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的共振裝置的外觀的立體圖。

圖2是簡要地表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的共振裝置的結(jié)構(gòu)的分解立體圖。

圖3是取下了上側(cè)基板的本發(fā)明的第一實施方式所涉及的共振裝置的俯視圖。

圖4是沿圖3的4－4線的剖視圖。

圖5是用于說明本發(fā)明的第一實施方式所涉及的共振裝置的制造方法的剖視圖。

圖6是用于說明本發(fā)明的第一實施方式所涉及的共振裝置的制造方法的剖視圖。

圖7是表示內(nèi)側(cè)的振動臂彼此之間的間隔相對于外側(cè)的振動臂以及內(nèi)側(cè)的振動臂之間的間隔的比率與k²Q的關系的圖。

圖8是簡要地表示本發(fā)明的第二實施方式所涉及的共振裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

圖9是簡要地表示本發(fā)明的第三實施方式所涉及的共振裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖10是簡要地表示本發(fā)明的第四實施方式所涉及的共振裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖11是簡要地表示本發(fā)明的第五實施方式所涉及的共振裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖12是簡要地表示本發(fā)明的第六實施方式所涉及的共振裝置的結(jié)構(gòu)的剖視圖。