[發明專利]質譜儀的等離子體清潔有效
| 申請號： | 201580041831.6 | 申請日： | 2015-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN106575598B | 公開（公告）日： | 2020-04-28 |
| 發明（設計）人： | G·佩雷爾曼;M·丹寧;M·瓦伊德鮑爾;G·帕特里奇 | 申請（專利權）人： | 安捷倫科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J49/00 | 分類號： | H01J49/00 |
| 代理公司： | 北京坤瑞律師事務所 11494 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 質譜儀 等離子體 清潔 | ||
【權利要求書】：
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