[發明專利]用于高溫處理的靜電夾盤組件有效

申請號：	201580041355.8	申請日：	2015-10-09
公開（公告）號：	CN106663647B	公開（公告）日：	2020-08-25
發明（設計）人：	V·D·帕科	申請（專利權）人：	應用材料公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687
代理公司：	上海專利商標事務所有限公司 31100	代理人：	侯穎媖
地址：	美國加利***	國省代碼：	暫無信息
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摘要：
搜索關鍵詞：	用于高溫處理靜電組件
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【權利要求書】：

1.一種靜電夾盤組件，包括：

定位盤，所述定位盤包括：

電性絕緣的上定位盤板，所述上定位盤板包括一個或更多個加熱元件以及一個或更多個電極，以用于靜電地固定基板；及

下定位盤板，所述下定位盤板通過金屬接合而接合至所述上定位盤板，所述下定位盤板包括多個特征，所述多個特征在距離所述下定位盤板的中心的多個不同的距離處分布在所述下定位盤板上，其中所述多個特征中的每一者容納多個緊固件中的一者；

冷卻板，所述冷卻板通過所述多個緊固件而耦接至所述下定位盤板；以及

O形環，所述O形環在所述冷卻板的外周界處設置在所述冷卻板的頂側上，其中所述多個緊固件各自施加相等的緊固力，以將所述冷卻板耦接至所述下定位盤板、壓縮所述O形環以及維持所述冷卻板與所述下定位盤板之間的相等的間隔，并且促進所述冷卻板與所述下定位盤板之間的均勻熱轉移，其中所述冷卻板與所述下定位盤板之間的所述間隔為2-40密爾。

2.如權利要求1所述的靜電夾盤組件，進一步包括：

PFP墊圈，所述PFP墊圈設置于所述冷卻板的至少一部分的頂側上，其中所述PFP墊圈用作所述冷卻板與所述下定位盤板之間的熱扼流器。

3.如權利要求2所述的靜電夾盤組件，其中所述PFP墊圈硫化至所述冷卻板的所述至少一部分的所述頂側。

4.如權利要求2所述的靜電夾盤組件，進一步包括：

柔性石墨層，所述石墨層在所述PFP墊圈上。

5.如權利要求2所述的靜電夾盤組件，其中所述冷卻板包括：

基座部分；及

彈簧裝載的熱沉，所述熱沉通過多個彈簧而連接至所述基座部分，其中所述PFP墊圈設置于所述熱沉上，且其中所述多個彈簧施加力以將所述熱沉壓靠所述定位盤。

6.如權利要求1所述的靜電夾盤組件，其中所述多個緊固件包括多個螺紋緊固件，且所述多個特征包括多個開孔，所述多個開孔用于接收所述多個螺紋緊固件。

7.如權利要求1所述的靜電夾盤組件，其中所述一個或更多個加熱元件將所述基板加熱至超過180℃的溫度，其中當所述基板加熱至超過180℃的所述溫度時，所述冷卻板維持在低于120℃的溫度，且其中所述定位盤與所述冷卻板之間的界面用作所述定位盤與所述冷卻板之間的熱扼流器。

8.如權利要求1所述的靜電夾盤組件，其中所述多個特征均勻地分布在所述下定位盤板上。

9.如權利要求1所述的靜電夾盤組件，其中所述多個特征間隔開30-70平方厘米。