[發明專利]晶片的缺陷測量裝置有效
| 申請號： | 201580041304.5 | 申請日： | 2015-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN106574900B | 公開（公告）日： | 2019-07-09 |
| 發明（設計）人： | 姜憄勛;韓基潤 | 申請（專利權）人： | 愛思開矽得榮株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270 | 代理人： | 王艷波;張穎玲 |
| 地址： | 韓國慶*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶片 缺陷 測量 裝置 | ||
【說明書】：
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