[發明專利]重疊測量方法、裝置、以及顯示裝置有效
| 申請號： | 201580040614.5 | 申請日： | 2015-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN106574832B | 公開（公告）日： | 2018-11-02 |
| 發明（設計）人： | 高木裕治;福永文彥;后藤泰范 | 申請（專利權）人： | 株式會社日立高新技術 |
| 主分類號： | G01B15/00 | 分類號： | G01B15/00;G03F9/00;G06T1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 范勝杰;文志 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 重疊 測量方法 裝置 以及 顯示裝置 | ||
【權利要求書】：
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