[發明專利]器件的檢查方法、探針卡、中繼板以及檢查裝置

在審

• 申請號: 201580040295.8
• 申請日: 2015-06-10
• 公開（公告）號: CN106662613A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 加賀美徹也;鈴木貫二
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;H01L21/66
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種器件的檢查方法，對在襯底上形成的多個器件的電氣特性進行檢查，該檢查方法的特征在于，包括：

第一步驟，從測試儀對與所述測試儀并聯連接的多個器件同時輸入試驗信號；以及

第二步驟，根據基于所輸入的所述試驗信號的來自所述多個器件的響應信號的合成值，來進行是否為所述多個器件中的一個以上的器件不合格的判定。

2.根據權利要求1所述的器件的檢查方法，其特征在于，

在所述第二步驟中，將所述合成值與預先設定的閾值進行比較，在未達到所述閾值的情況下，判定為所述多個器件中的一個以上的器件不合格，并且，

所述器件的檢查方法還具備以下的設定新閾值的步驟：在所述第二步驟中未達到所述閾值的情況下，設定與所述閾值不同的新閾值，

使用所述新閾值來再次進行所述第一步驟和所述第二步驟。

3.根據權利要求2所述的器件的檢查方法，其特征在于，

重復執行所述設定新閾值的步驟、所述第一步驟以及所述第二步驟，直到達到所述新閾值為止，由此檢測不合格的所述器件的數量。

4.根據權利要求3所述的器件的檢查方法，其特征在于，

多級地設定所述閾值，當將第N次判定中設定的閾值設為TH_N、將第N+1次判定中設定的閾值設為TH_N+1時，具有TH_N>TH_N+1的關系，其中，N表示1以上的正整數，并且

在所述多個器件包括n個器件、且所述n個器件全部合格時的所述響應信號的合成值為S₀的情況下，所述閾值TH_N滿足下面的式(1)的關系，其中，n表示2以上的正整數，

[數1]

S₀×[n-(N-1)]/n≥TH_N＞S₀×(n-N)/n…(1)。

5.根據權利要求1所述的器件的檢查方法，其特征在于，

所述器件是非易失性半導體存儲器，所述第一步驟和所述第二步驟是作為所述非易失性半導體存儲器的寫入試驗來執行的。

6.一種探針卡，配置于對在襯底上形成的多個器件的電氣特性進行檢查的測試儀與所述襯底之間，該探針卡的特征在于，具備：

多個探針，該多個探針與多個所述器件的電極焊盤分別接觸；以及

支承基板，其支承所述多個探針，

其中，所述支承基板具有：

輸入線路，其與所述探針連接，將來自所述測試儀的試驗信號傳輸到多個所述器件；

多個個別輸出線路，該多個個別輸出線路與所述探針連接，傳輸基于所述試驗信號的來自所述器件的響應信號；以及

共同輸出線路，其將多個所述個別輸出線路合并，來將來自多個所述器件的所述響應信號進行合成后向所述測試儀傳輸，

其中，在所述個別輸出線路上具備電阻部，該電阻部具有比所述器件的內部電阻大的電阻。

7.根據權利要求6所述的探針卡，其特征在于，

在所述個別輸出線路上還具有與所述電阻部串聯連接的繼電器開關部。

8.一種中繼板，配置于對在襯底上形成的多個器件的電氣特性進行檢查的測試儀與所述襯底之間，該中繼板的特征在于，具有：

輸入線路，其向多個所述器件傳輸來自所述測試儀的試驗信號；

多個個別輸出線路，該多個個別輸出線路傳輸基于所述試驗信號的來自所述器件的響應信號；以及

共同輸出線路，其將多個所述個別輸出線路合并，將來自多個所述器件的所述響應信號進行合成后向所述測試儀傳輸，

其中，在所述個別輸出線路上具備電阻部，該電阻部具有比所述器件的內部電阻大的電阻。

9.根據權利要求8所述的中繼板，其特征在于，

在所述個別輸出線路上還具有與所述電阻部串聯連接的繼電器開關部。