[發(fā)明專利]用于電子器件的納米探測的裝置以及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580040283.5 | 申請日： | 2015-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN107004553B | 公開（公告）日： | 2019-07-26 |
| 發(fā)明（設計）人： | V·烏克蘭采夫;I·尼夫;R·本蔡恩 | 申請（專利權）人： | FEI埃法有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/20 | 分類號： | H01J37/20;H01L21/66;G01R1/06;G01R31/307;G01R31/28 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 陳松濤;韓宏 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 電子器件 納米 探測 裝置 以及 方法 | ||
1.一種用于對半導體器件執(zhí)行納米探測的納米探針，包括：
致動器；
探針臂，所述探針臂在第一端部處耦合到所述致動器，其中，所述致動器被配置為根據所述致動器接收到的運動信號來移動所述探針臂；
探針頭，所述探針頭附接到所述探針臂的第二端部；
多個探針尖端，每個探針尖端均以特定的單個取向固定地附接到所述探針頭，以使得所述多個探針尖端形成與所述半導體器件的探測目標的幾何布置相對應的固定布置。
2.根據權利要求1所述的納米探針，其中，所述探針頭還包括對準目標。
3.根據權利要求2所述的納米探針，其中，所述探針頭包括絕緣體材料，并且所述對準目標包括導電材料。
4.根據權利要求3所述的納米探針，其中，所述對準目標包括金。
5.根據權利要求1所述的納米探針，其中，所述探針尖端中的每個探針尖端均包括導電材料，并且還包括多條導電線，每條導電線均連接到所述探針尖端中的一個探針尖端。
6.根據權利要求1所述的納米探針，其中，所述探針臂包括能夠將所述探針頭從所述探針臂拆卸下來的拆卸耦合器。
7.根據權利要求1所述的納米探針，還包括具有多個探針尖端的第二探針頭，每個探針尖端均以單個取向固定地附接到所述第二探針頭，以使得所述多個探針尖端形成第二固定布置，并且還包括能夠以所述第二探針頭來替換所述探針頭的拆卸耦合器。
8.一種用于對半導體器件執(zhí)行納米探測的系統(tǒng)，包括：
真空腔；
掃描電子顯微鏡柱狀物，所述掃描電子顯微鏡柱狀物被設置為在所述真空腔內部輻射電子束；
多個納米探針，所述多個納米探針被設置在所述真空腔內部；
其中，所述納米探針中的至少一個納米探針包括：
致動器；
探針臂，所述探針臂在第一端部處耦合到所述致動器，其中，所述致動器被配置為根據所述致動器接收到的運動信號來移動所述探針臂；
探針頭，所述探針頭附接到所述探針臂的第二端部；
多個探針尖端，每個探針尖端均以特定的單個取向固定地附接到所述探針頭，以使得所述多個探針尖端形成與所述半導體器件的探測目標的幾何布置相對應的固定布置。
9.根據權利要求8所述的系統(tǒng)，還包括多個替換探針頭，每個替換探針頭均包括多個探針尖端，每個探針尖端均以單個取向固定地附接到所述探針頭，以使得所述多個探針尖端形成與所述半導體器件的探測目標的幾何布置相對應的固定布置。
10.根據權利要求9所述的系統(tǒng)，其中，所述納米探針中的至少一個納米探針包括：
致動器；
探針臂，所述探針臂在第一端部處耦合到所述致動器，其中，所述致動器被配置為根據所述致動器接收到的運動信號來移動所述探針臂；
硬化的探針尖端，所述硬化的探針尖端附接到所述探針臂。
11.根據權利要求10所述的系統(tǒng)，其中，所述硬化的探針尖端包括金剛石。
12.根據權利要求8所述的系統(tǒng)，所述探針頭還包括對準目標。
13.根據權利要求12所述的系統(tǒng)，其中，所述探針頭包括絕緣體材料，并且所述對準目標包括導電材料。
14.根據權利要求13所述的系統(tǒng)，其中，所述對準目標包括金。
15.根據權利要求8所述的系統(tǒng)，其中，所述探針尖端的至少一個子集包括導電材料，并且還包括多條導電線，每條導電線均連接到包括導電材料的所述探針尖端中的一個探針尖端。
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