[發(fā)明專利]用于使基底表面經(jīng)受連續(xù)表面反應(yīng)的噴嘴頭、裝置和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580039948.0
• 申請日: 2015-07-03
• 公開（公告）號: CN106661731B
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: P·索伊尼寧;M·瑟德隆德;J·佩爾托涅米
• 申請（專利權(quán)）人: BENEQ有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/54
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 王其文

1.一種用于使基底(6)的表面(8)經(jīng)受至少第一前驅(qū)體(A)和第二前驅(qū)體(B)的連續(xù)表面反應(yīng)的噴嘴頭(2)，所述噴嘴頭(2)具有輸出面(3)，所述輸出面包括：

-一個或多個前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)，所述一個或多個前驅(qū)體噴嘴布置成將所述第一前驅(qū)體(A)和所述第二前驅(qū)體(B)供應(yīng)到所述基底(6)的表面(8)；和

-至少兩個排放通道(24)，所述至少兩個排放通道用于將前驅(qū)體(A、B)從所述基底(6)的表面(8)排放，

所述輸出面(3)按以下順序包括：

排放通道(24)、布置成供應(yīng)所述第一前驅(qū)體(A)和所述第二前驅(qū)體(B)的至少一個前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)、和排放通道(24)，

其特征在于，所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)按以下順序連續(xù)且鄰近地包括：排放通道(24)、布置成供應(yīng)所述第一前驅(qū)體(A)和第二前驅(qū)體(B)的至少一個前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)、和排放通道(24)，并且重復(fù)一次或多次以形成兩個或更多個反應(yīng)區(qū)域(X、Y、Z)。

2.如權(quán)利要求1所述的噴嘴頭(2)，其特征在于，所述輸出面(3)按以下順序包括：

-排放通道(24)、布置成供應(yīng)所述第一前驅(qū)體(A)的第一前驅(qū)體噴嘴(21)、布置成供應(yīng)所述第二前驅(qū)體(B)的第二前驅(qū)體噴嘴(23)、和排放通道(24)；或

-排放通道(24)、布置成供應(yīng)第一前驅(qū)體(A)的第一前驅(qū)體噴嘴(21)、布置成供應(yīng)第二前驅(qū)體(B)的第二前驅(qū)體噴嘴(23)、布置成供應(yīng)所述第一前驅(qū)體(A)的第一前驅(qū)體噴嘴(21)、和排放通道(24)；或

-排放通道(24)、布置成供應(yīng)所述第一前驅(qū)體(A)和第二前驅(qū)體(B)兩者的共用的前驅(qū)體噴嘴(22)、和排放通道(24)。

3.如權(quán)利要求1所述的噴嘴頭(2)，其特征在于，所述噴嘴頭(2)包括：

-延伸到第一前驅(qū)體噴嘴(21)并且布置成將第一前驅(qū)體(A)輸送到所述第一前驅(qū)體噴嘴(21)的第一前驅(qū)體管道(27)、和延伸到第二前驅(qū)體噴嘴(23)并且布置成將第二前驅(qū)體(B)輸送到所述第二前驅(qū)體噴嘴(23)的第二前驅(qū)體管道(29)；或

-延伸到共用的前驅(qū)體噴嘴(22)并且布置成將所述第一前驅(qū)體(A)和第二前驅(qū)體(B)兩者輸送到所述共用的前驅(qū)體噴嘴(22)的前驅(qū)體管道(28)；或

-延伸到共用的前驅(qū)體噴嘴(22)并且布置成將第一前驅(qū)體(A)輸送到所述共用的前驅(qū)體噴嘴(22)的第一前驅(qū)體管道(27)、和延伸到所述共用的前驅(qū)體噴嘴(22)并且布置成將第二前驅(qū)體(B)輸送到所述共用的前驅(qū)體噴嘴(22)的第二前驅(qū)體管道(29)。

4.如權(quán)利要求1所述的噴嘴頭(2)，其特征在于：

-所述前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的縱向通道；或

-所述前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的縱向通道，并且所述排放通道(24)是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的縱向通道；或

-所述前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的縱向通道，并且所述排放通道(24)是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的縱向通道，所述前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)和所述排放通道(24)在所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)中大體上平行地延伸，用于在兩個連續(xù)的排放通道(24)之間提供反應(yīng)區(qū)域(X、Y、Z)。

5.如權(quán)利要求3所述的噴嘴頭(2)，其特征在于：

-所述前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的中央前驅(qū)體噴嘴；或

-所述前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的中央前驅(qū)體噴嘴，且所述排放通道(24)是開口到所述輸出面(3)并圍繞共用的中央前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)的周緣通道；或

-所述排放通道(24)中的至少一個是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的中央通道；或

-所述排放通道(24)中的至少一個是開口到所述噴嘴頭(2)的輸出面(3)的中央排放通道，且共用的前驅(qū)體噴嘴(22；21、23)中的至少一個是開口到所述輸出面(3)并且圍繞所述中央排放通道(24)的周緣通道。