[發明專利]噴墨印刷系統和處理晶圓的方法

有效

• 申請號: 201580039537.1
• 申請日: 2015-07-21
• 公開（公告）號: CN106605453B
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 約翰·維黑杰;勞倫修斯·亨德瑞庫斯·阿德里安努斯·萬蒂耶克
• 申請（專利權）人: 梅耶博格（荷蘭）有限公司
• 主分類號: H05K1/02
• 分類號: H05K1/02;H05K3/12;H01L21/68;H01L21/67;B41J29/393;B41J11/00;B41J3/407
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;王艷春

1.一種噴墨印刷系統(10)，配置成將液體材料的圖案噴繪在晶圓(W)上，所述晶圓(W)以大供應量供給，且每個晶圓具有在至少兩個不同方向上延伸的晶圓邊緣(W_e)，所述噴墨印刷系統包括：

至少一個夾頭(14)，在所述夾頭(14)上能夠放置晶圓(W)；

至少一個噴墨印刷頭(16)，包括至少一個噴嘴，所述至少一個噴嘴配置成當所述噴嘴通過控制信號引發時排出液體；

印刷動作組件(18、20)，支承所述至少一個夾頭(14)和所述至少一個噴墨印刷頭(16)中的至少一個，以使得在所述至少一個夾頭(14)上的二維印刷區域能夠通過以由所述至少一個噴墨印刷頭(16)所排出的液體所覆蓋；

電子控制器組件(22、24)，配置成產生控制信號(S1、S2、S3)以引發所述至少一個噴嘴，且配置成控制所述印刷動作組件(18、20)，用于相對所述至少一個夾頭(14)定位所述至少一個噴墨印刷頭(16)，以使得相對所述夾頭沉積所述液體的定位變動小于長度量值的第一閾值；

所述至少一個夾頭(14)中的每個夾頭均與單個關聯照相機(26)相關聯，所述關聯照相機(26)指向相關聯的所述夾頭(14)，每個關聯照相機(26)均具有二維矩陣的照相機像素，每個像素均具有像素坐標；

每個夾頭(14)均包括在邊界(B)內延伸的放置區域；

每個夾頭(14)均包括二維視覺基準(28)；

其中，所述控制器組件(22、24)配置成：

控制所述關聯照相機(26)，所述關聯照相機(26)與所述夾頭(14)有關聯，以在晶圓已被放置在所述夾頭(14)上的在每個實例中拍攝單個圖像(I)，其中，所述圖像(I)包括所述晶圓邊緣(W_e)和所述夾頭(14)的所述二維視覺基準(28)；

通過檢測所述二維視覺基準(28)相對于所述關聯照相機的像素坐標的位置，為每個圖像(I)確定所述夾頭(14)相對所述關聯照相機(26)的位置；以及

通過檢測所述晶圓(W)的所述晶圓邊緣(W_e)相對于所述關聯照相機的像素坐標的位置，為每個圖像(I)確定所述晶圓(W)相對所述關聯照相機(26)的位置；

使用這兩個位置確定，以小于長度量值的第二閾值的精確度為每個圖像(I)計算相對所述二維視覺基準(28)的晶圓位置，從而計算相對所述夾頭(14)的晶圓位置，并基于相對所述夾頭(14)的晶圓位置，隨后定時所述至少一個噴墨印刷頭(16)的所述至少一個噴嘴的引發，且控制所述印刷動作組件(18、20)的運動，以使得以小于所述第一閾值和所述第二閾值的總和的定位變動，將通過所述噴墨印刷頭(16)所排出的液體定位在所述晶圓(W)上。

2.如權利要求1所述的噴墨印刷系統，其中，所述夾頭(14)的所述二維視覺基準(28)具有與所述放置區域的尺寸數量級相同的尺寸，以使得當拍攝所述圖像(I)時，定位在所述關聯照相機的像素矩陣的遠側部分的照相機像素捕捉所述二維視覺基準的部分。

3.如權利要求1或2所述的噴墨印刷系統，其中，所述第一閾值為5微米或更小。

4.如權利要求1或2所述的噴墨印刷系統，其中，所述第二閾值為50微米或更小。

5.如權利要求1或2所述的噴墨印刷系統，其中，所述第二閾值為5微米或更小。