[發明專利]電動致動器

有效

• 申請號: 201580038399.5
• 申請日: 2015-06-10
• 公開（公告）號: CN106662224B
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 中山徹;杉山亨;增井隆一;奧平宏行
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16H25/20
• 分類號: F16H25/20;C01B32/05;C23C28/00
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 崔巍

1.一種電動致動器(10，10A)，其特征在于，包含滑動螺桿軸(18，102)，和螺母(52，138)；所述螺母(52，138)與所述滑動螺桿軸(18，102)螺紋接合，所述滑動螺桿軸(18，102)被構造成在馬達(12)的操作下旋轉，從而使得所述螺母(52，138)在所述滑動螺桿軸(18，102)的軸向方向上移位；

其中，所述滑動螺桿軸(18，102)由輕金屬或輕金屬合金制成；

類金剛石碳薄膜(60，170)形成在所述螺母(52，138)的螺紋部(58，168)的區域上，所述區域位于從所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)在其軸向方向上的起始端至所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的至少第三螺紋的范圍內；

其中，所述類金剛石碳薄膜(60，170)形成在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的位于從所述起始端至至少所述第三螺紋的范圍內的區域上，及其位于從所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)在所述軸向方向上的終止端至所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的至少第三螺紋的范圍內的區域上；并且

其中，在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的位于自所述起始端起的第一螺紋的第一起始端部分(58a，168a)上的所述類金剛石碳薄膜(60，170)的厚度大于在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的位于自所述起始端起的第二螺紋的第二起始端部分(58b，168b)上的所述類金剛石碳薄膜(60，170)的厚度。

2.如權利要求1所述的電動致動器(10，10A)，其特征在于，其中在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的位于自所述終止端起的第一螺紋的第一終止端部分(58d，168d)上的所述類金剛石碳薄膜(60，170)的厚度大于在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的位于自所述終止端起的第二螺紋的第二終止端部分(58e，168e)上的所述類金剛石碳薄膜(60，170)的厚度。

3.如權利要求1至2的任一項所述的電動致動器(10，10A)，其特征在于，其中所述類金剛石碳薄膜(60，170)形成在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的位于從所述起始端至所述終止端的范圍內的區域上。

4.如權利要求3所述的電動致動器(10，10A)，其特征在于，其中在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的所述起始端至所述第三螺紋的范圍內的所述區域上及其所述終止端至所述第三螺紋的范圍內的所述區域上的所述類金剛石碳薄膜(60，170)的厚度等于或者大于在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的中間區域(58g，168g)上的所述類金剛石碳薄膜(60，170)的厚度，所述中間區域(58g，168g)位于自所述起始端起的第四螺紋至自所述終止端起的第四螺紋的范圍內。

5.如權利要求1所述的電動致動器(10，10A)，其特征在于，其中所述類金剛石碳薄膜(60，170)不形成在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的位于自所述起始端起的第四螺紋至自所述終止端起的第四螺紋的范圍內的中間區域(58g，168g)的至少部分上。

6.如權利要求1所述的電動致動器(10，10A)，其特征在于，其中在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的位于從所述起始端至至少所述第三螺紋的范圍內的所述區域上，和所述滑動螺桿軸(18，102)的所述螺紋部(48，128)上都形成所述類金剛石碳薄膜(50，60，130，170)。

7.如權利要求1所述的電動致動器(10，10A)，其特征在于，其中所述滑動螺桿軸(18，102)由鋁或鋁合金制成；

耐熱鋁薄膜形成在所述滑動螺桿軸(18，102)的所述螺紋部(48，128)上；并且

所述類金剛石碳薄膜(60，170)形成在所述螺母(52，138)的所述螺紋部(58，168)的所述區域上，所述區域位于從所述起始端至至少所述第三螺紋的所述范圍內。