[發明專利]光刻設備和制造器件的方法有效
| 申請號： | 201580038295.4 | 申請日： | 2015-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN106575085B | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發明（設計）人： | 簡·伯納德·普萊徹爾墨斯·范斯庫特;S·比林;M·恩德林斯;M·M·埃斯卡蘭特;T·格魯納;L·維施邁爾 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司;卡爾蔡司SMT有限責任公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 王靜 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 設備 制造 器件 方法 | ||
【權利要求書】：
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