[發(fā)明專利]用于測試頭的接觸探針和相應(yīng)的制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580037677.5 | 申請日： | 2015-06-25 |
| 公開（公告）號： | CN106662602A | 公開（公告）日： | 2017-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 羅伯特·克里帕;拉斐爾·瓦勞利;埃馬努埃萊·貝塔雷利 | 申請（專利權(quán)）人： | 泰克諾探頭公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京商專永信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11400 | 代理人： | 葛強(qiáng),雷麗 |
| 地址： | 意大*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 測試 接觸 探針 相應(yīng) 制造 方法 | ||
1.一種接觸探針(1)，用于測試電子器件的裝置的測試頭，該接觸探針包括在接觸尖端和接觸頭(11A、11B)之間延伸的主體，所述接觸探針(11)包括至少一個第一部分(20)以及第二部分(21)，該至少一個第一部分(20)和第二部分(21)由至少兩種不同的材料制成并且對應(yīng)于焊接線(22)連接在一起。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接觸探針，其特征在于，所述第一部分(20)由第一導(dǎo)電材料制成，并且所述第二部分(21)由第二導(dǎo)電材料制成，所述第二導(dǎo)電材料的硬度值大于所述第一導(dǎo)電材料的硬度值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的接觸探針，其特征在于，所述第一導(dǎo)電材料是選自以下的金屬或金屬合金：銅、銀、金或它們的合金，例如銅-鈮合金或銅-銀合金，所述第一導(dǎo)電材料優(yōu)選為銅。
4.根據(jù)權(quán)利要求2至3中的任一項(xiàng)所述的接觸探針，其特征在于，所述第二導(dǎo)電材料具有大于250Hv(相當(dāng)于2451.75MPa)的維氏硬度值，優(yōu)選具有大于400Hv(相當(dāng)于3922.8MPa)的維氏硬度值。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中的任一項(xiàng)所述的接觸探針，其特征在于，所述第二導(dǎo)電材料是選自以下的金屬或金屬合金：鎳或其合金，例如鎳-錳、鎳-鈷；或鎢或其合金，例如鎳-鎢或包含鎢的多層材料；或鈀或其合金，例如鎳-鈀或鈀-鎢；或銠或其合金，所述第二導(dǎo)電材料優(yōu)選為鎢。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的接觸探針，其特征在于，所述第一部分(20)包括所述接觸探針(11)的所述接觸頭(11B)，并且所述第二部分(21)包括所述接觸探針(11)的所述接觸尖端(11A)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的接觸探針，其特征在于，包括對應(yīng)于另一焊接線(22')連接到所述第一部分(20)的另一部分(21')。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的接觸探針，其特征在于，所述第一部分(20)相對于所述接觸探針(11)的縱向軸線居中布置，并且所述第二部分(21)和所述另一部分(21')相對于所述第一部分(20)的兩側(cè)布置，位于所述接觸探針(11)的端部處。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的接觸探針，其特征在于，所述第二部分(21)包括所述接觸探針(11)的所述接觸尖端(11A)，所述另一部分(21')包括所述接觸探針(11)的所述接觸頭(11B)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中的任一項(xiàng)所述的接觸探針，其特征在于，所述另一部分(21')由制成所述第二部分(21)的所述第二導(dǎo)電材料制成。
11.根據(jù)權(quán)利要求7至9中的任一項(xiàng)所述的接觸探針，其特征在于，所述另一部分(21')由另一導(dǎo)電材料制成，該另一導(dǎo)電材料不同于制成所述第二部分(21)的所述第二導(dǎo)電材料，所述另一導(dǎo)電材料的硬度值大于所述第一導(dǎo)電材料的硬度值。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的接觸探針，其特征在于，所述另一導(dǎo)電材料是選自以下的金屬或金屬合金：鎳或其合金，例如鎳-錳、鎳-鈷；或鎢或其合金，例如鎳-鎢或包含鎢的多層材料；或鈀或其合金，例如鎳-鈀或鈀-鎢；或銠或其合金，所述另一導(dǎo)電材料優(yōu)選為鎢。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)所述的接觸探針，其特征在于還包括由第三導(dǎo)電材料制成的外涂層，該第三導(dǎo)電材料的硬度值大于所述第一導(dǎo)電材料和所述第二導(dǎo)電材料的硬度值。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的接觸探針，其特征在于，所述外涂層為金屬或金屬合金，特別是銠、鉑或其金屬合金；或鈀或其合金，例如鈀-鈷合金、鈀-鎳合金甚或鎳-磷合金，所述外涂層優(yōu)選為銠。
15.一種用于測試電子器件的裝置的測試頭，其特征在于包括多個根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項(xiàng)制造的接觸探針(11)。
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G01R 測量電變量；測量磁變量
G01R1-00 包含在G01R 5/00至G01R 13/00和G01R 31/00組中的各類儀器或裝置的零部件
G01R1-02 .一般結(jié)構(gòu)零部件
G01R1-20 .電測量儀器中所用的基本電氣元件的改進(jìn)；這些元件和這類儀器的結(jié)構(gòu)組合
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