[發(fā)明專利]用于使用多個帶電粒子束來檢查樣本的裝置和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580036950.2 | 申請日： | 2015-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN106575595B | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | P·庫魯伊特;A·C·左內維勒;任巖 | 申請（專利權）人： | 代爾夫特理工大學 |
| 主分類號： | H01J37/28 | 分類號： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 袁逸 |
| 地址： | 荷蘭代*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 使用 帶電 粒子束 檢查 樣本 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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