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[發明專利]多晶硅棒制造用的硅芯線和多晶硅棒的制造裝置在審

專利信息
申請號: 201580036608.2 申請日: 2015-07-03
公開(公告)號: CN106470942A 公開(公告)日: 2017-03-01
發明(設計)人: 田中秀二;岡田哲郎 申請(專利權)人: 信越化學工業株式會社
主分類號: C01B33/035 分類號: C01B33/035
代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司11219 代理人: 滿鳳,金龍河
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 多晶 制造 硅芯線 裝置
【權利要求書】:
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