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[發(fā)明專利]薄膜晶體管有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201580035556.7 申請日: 2015-08-06
公開(公告)號: CN106489209B 公開(公告)日: 2020-03-13
發(fā)明(設計)人: 越智元隆;高梨泰幸;三木綾;后藤裕史;釘宮敏洋 申請(專利權)人: 株式會社神戶制鋼所
主分類號: H01L29/786 分類號: H01L29/786;C23C14/08;G02F1/1368;H01L21/336;H01L21/363
代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021 代理人: 張玉玲
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 薄膜晶體管
【說明書】:
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