[發(fā)明專利]陰影掩模張緊方法和設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580035532.1 | 申請(qǐng)日： | 2015-04-17 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106575603B | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 布萊恩·阿瑟·布奇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 阿德文泰克全球有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/027 | 分類號(hào)： | H01L21/027;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112 | 代理人： | 顧紅霞;顧欣 |
| 地址： | 英屬維爾京*** | 國(guó)省代碼： | 維爾京群島;VG |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 陰影 掩模張緊 方法 設(shè)備 | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 同類專利
- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 一種陰影檢測(cè)的方法、裝置及視頻圖像處理系統(tǒng)
- 陰影光譜模擬方法
- 一種計(jì)算光照?qǐng)D的靜態(tài)陰影和動(dòng)態(tài)陰影融合的方法及裝置
- 一種視點(diǎn)依賴的陰影貼圖創(chuàng)建方法
- 血管內(nèi)圖像中的陰影的檢測(cè)與驗(yàn)證
- 陰影繪制方法、裝置、終端以及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)
- 文檔陰影去除方法及裝置
- 一種文字陰影效果實(shí)現(xiàn)方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種在Android平臺(tái)實(shí)現(xiàn)個(gè)性化陰影的方法及系統(tǒng)
- 一種城市可見(jiàn)光遙感圖像陰影去除的弱監(jiān)督方法
- 一種數(shù)據(jù)庫(kù)讀寫分離的方法和裝置
- 一種手機(jī)動(dòng)漫人物及背景創(chuàng)作方法
- 一種通訊綜合測(cè)試終端的測(cè)試方法
- 一種服裝用人體測(cè)量基準(zhǔn)點(diǎn)的獲取方法
- 系統(tǒng)升級(jí)方法及裝置
- 用于虛擬和接口方法調(diào)用的裝置和方法
- 線程狀態(tài)監(jiān)控方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種JAVA智能卡及其虛擬機(jī)組件優(yōu)化方法
- 檢測(cè)程序中方法耗時(shí)的方法、裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 函數(shù)的執(zhí)行方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
- 簽名設(shè)備、檢驗(yàn)設(shè)備、驗(yàn)證設(shè)備、加密設(shè)備及解密設(shè)備
- 色彩調(diào)整設(shè)備、顯示設(shè)備、打印設(shè)備、圖像處理設(shè)備
- 驅(qū)動(dòng)設(shè)備、定影設(shè)備和成像設(shè)備
- 發(fā)送設(shè)備、中繼設(shè)備和接收設(shè)備
- 定點(diǎn)設(shè)備、接口設(shè)備和顯示設(shè)備
- 傳輸設(shè)備、DP源設(shè)備、接收設(shè)備以及DP接受設(shè)備
- 設(shè)備綁定方法、設(shè)備、終端設(shè)備以及網(wǎng)絡(luò)側(cè)設(shè)備
- 設(shè)備、主設(shè)備及從設(shè)備
- 設(shè)備向設(shè)備轉(zhuǎn)發(fā)
