[發(fā)明專利]具有金屬、電介質(zhì)及氮化物兼容性的抗反射涂層清洗及蝕刻后殘留物去除組成物

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580035488.4
• 申請(qǐng)日: 2015-06-02
• 公開（公告）號(hào): CN107004575A
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 埃馬紐爾·I·庫(kù)珀;斯蒂芬·里皮;宋凌雁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號(hào): H01L21/027
• 分類號(hào): H01L21/027
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287
• 代理人: 齊楊

1.一種液體去除組成物，其包括至少一種含氟化物的化合物、至少一種有機(jī)溶劑、任選地水，及電介質(zhì)鈍化劑及/或腐蝕抑制劑及/或至少一種含硅化合物中的至少一者，其中所述液體去除組成物可用于從其上具有抗反射涂層ARC材料及/或蝕刻后殘留物的微電子裝置去除所述材料及/或殘留物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體去除組成物，其包括至少一種電介質(zhì)鈍化劑，其中所述電介質(zhì)鈍化劑包括選自由以下項(xiàng)組成的群組的物質(zhì)：丙二酸、硼酸、硼酸氫銨、五硼酸銨、四硼酸鈉、硼酸氫銨、3-羥基-2-萘甲酸、亞氨二乙酸及其組合，優(yōu)選為硼酸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液體去除組成物，其包括至少一種腐蝕抑制劑，其中所述腐蝕抑制劑包括選自由以下項(xiàng)組成的群組的物質(zhì)：苯并三唑(BTA)、1,2,4-三唑(TAZ)、5-氨基四唑(ATA)、1-羥基苯并三唑、5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇、3-氨基-1H-1,2,4-三唑、3,5-二氨基-1,2,4-三唑、甲苯三唑、5-苯基-苯并三唑、5-硝基-苯并三唑、3-氨基-5-巰基-1,2,4-三唑、1-氨基-1,2,4-三唑、2-(5-氨基-戊基)-苯并三唑、1-氨基-1,2,3-三唑、1-氨基-5-甲基-1,2,3-三唑、3-巰基-1,2,4-三唑、3-異丙基-1,2,4-三唑、5-苯基硫醇-苯并三唑、鹵基-苯并三唑(鹵基＝F、Cl、Br或I)、萘并三唑、1H-四唑-5-乙酸、2-巰基苯并噻唑(2-MBT)、1-苯基-2-四唑啉-5-硫酮、2-巰基苯并咪唑(MBI)、4-甲基-2-苯基咪唑、2-巰基噻唑啉、2,4-二氨基-6-甲基-1,3,5-三嗪、噻唑、咪唑、苯并咪唑、三嗪、甲基四唑、試鉍硫醇I(Bismuthiol I)、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮、1,5-五亞甲基四唑、1-苯基-5-巰基四唑、二氨甲基三嗪、咪唑啉硫酮、4-甲基-4H-1,2,4-三唑-3-硫醇、5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇、苯并噻唑、磷酸三甲苯酯、吲唑、DNA堿基、吡唑、丙硫醇、抗壞血酸、硫脲、1,1,3,3-四甲基脲、尿素、尿素衍生物、尿酸、乙基黃原酸鉀、甘氨酸、十二烷基苯磺酸(DDBSA)、酒石酸、N,N-二甲基乙酰乙酰胺、1-亞硝基-2-萘酚、聚山梨酸酯80(Tween 80)、十二烷基膦酸(DDPA)、乙二胺四乙酸(EDTA)、(1,2-亞環(huán)己基二氮基)四乙酸(CDTA)、二亞乙三胺五乙酸(DTPA)、2-膦酰丁烷-1,2,4-三羧酸(PBTCA)、乙二胺二琥珀酸、丙二胺四乙酸；膦酸；羥基亞乙基二膦酸(HEDP)(Dequest 2010)、1-羥乙烷-1,1-二膦酸、氮基-三(亞甲基膦酸)(NTMP)、氨基三(亞甲基膦酸)(Dequest 2000)、二亞乙三胺五(亞甲基膦酸)(Dequest 2060S)、乙二胺四(亞甲基膦酸)(EDTMPA)及其組合，優(yōu)選為DDPA。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的液體去除組成物，其包括至少一種含硅化合物，其中所述含硅化合物包括選自由以下項(xiàng)組成的群組的物質(zhì)：甲基三甲氧硅烷、二甲基二甲氧硅烷、苯基三甲氧硅烷、四乙氧硅烷(TEOS)、N-丙基三甲氧硅烷、N-丙基三乙氧硅烷、己基三甲氧硅烷、己基三乙氧硅烷、六氟硅酸銨、硅酸鈉、硅酸鉀、四甲基硅酸銨(TMAS)、四乙酰氧硅烷、二-叔丁氧二乙酰氧硅烷、乙酰氧甲基三乙氧硅烷及其組合，優(yōu)選為TMAS。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的液體去除組成物，其中所述至少一種有機(jī)溶劑包括選自由以下項(xiàng)組成的群組的化合物：四亞甲砜、甲醇、乙醇、1-丙醇、2-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、叔丁醇、1-戊醇、己醇、環(huán)己醇、2-乙基-1-己醇、苯甲醇、呋喃甲醇、乙二醇、二甘醇、丙二醇(1,2-丙二醇)、四亞甲二醇(1,4-丁二醇)、2,3-丁二醇、1,3-丁二醇、新戊二醇、二甘醇單甲醚、三甘醇單甲醚、二甘醇單乙醚、三甘醇單乙醚、乙二醇單丙醚、乙二醇單丁醚、二甘醇單丁醚、三甘醇單丁醚、丙二醇甲基醚、二丙二醇甲基醚、三丙二醇甲基醚、丙二醇正丙基醚、二丙二醇正丙基醚、三丙二醇正丙基醚、丙二醇正丁基醚、二丙二醇正丁基醚及三丙二醇正丁基醚、二甲基乙酰胺、甲酰胺、二甲基甲酰胺、1-甲基-2-吡咯烷酮、二甲亞砜、四氫呋喃甲醇(THFA)及其組合。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的液體去除組成物，其中至少一種有機(jī)溶劑包括選自由以下項(xiàng)組成的群組的化合物：乙二醇、丙二醇、2-丙醇、1-丙醇、1-丁醇、1,4-丁二醇、1-戊醇及其組合。