[發(fā)明專利]用于操縱襯底的工具、操縱方法及外延反應(yīng)器有效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	201580035249.9	申請(qǐng)日：	2015-07-02
公開（公告）號(hào)：	CN106471614B	公開（公告）日：	2020-08-25
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	溫森佐·奧格里阿里;弗朗西斯科·科里亞;弗蘭科·佩雷蒂	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	LPE公司
主分類號(hào)：	H01L21/683	分類號(hào)：	H01L21/683
代理公司：	北京安信方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262	代理人：	張華卿;鄭霞
地址：	意大利米***	國省代碼：	暫無信息
權(quán)利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	用于操縱襯底工具方法外延反應(yīng)器
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