[發明專利]分步重復用壓印用模具及其制造方法

在審

• 申請號: 201580034814.X
• 申請日: 2015-07-07
• 公開（公告）號: CN106663600A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 宮澤幸大
• 申請（專利權）人: 綜研化學株式會社
• 主分類號: H01L21/027
• 分類號: H01L21/027;B29C33/38;B29C59/02
• 代理公司: 深圳瑞天謹誠知識產權代理有限公司44340
• 代理人: 溫青玲

1.一種分步重復用壓印用模具，其特征在于，具備：

透明基材；

透明樹脂層，其形成于所述透明基材上且具有形成有凹凸圖案的圖案區域；以及

遮光部件，其以在所述透明基材與所述透明樹脂層之間于所述圖案區域的局部與所述圖案區域重疊的方式設置。

2.根據權利要求1所述的分步重復用壓印用模具，其特征在于，所述圖案區域由透光區域和遮光區域構成，所述透光區域是對由光固化性樹脂形成的被轉印樹脂層轉印所述凹凸圖案后通過照射活性能量線而使所述被轉印樹脂層固化的區域，所述遮光區域是在所述透光區域的周邊部即使照射所述活性能量線所述被轉印樹脂層也不會被固化的區域。

3.根據權利要求1或2所述的分步重復用壓印用模具，其特征在于，所述透明基材具有撓性。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的分步重復用壓印用模具，其特征在于，所述透明基材在形成有所述透明樹脂層的一側的面為平坦面。

5.一種分步重復用壓印用模具的制造方法，其特征在于，具備如下工序：

在透明基材上的規定位置配置遮光部件，

以覆蓋所述遮光部件的方式在所述透明基材上形成透明樹脂層，所述透明樹脂層具有形成有凹凸圖案的圖案區域，

所述遮光部件以在所述圖案區域的局部與所述圖案區域重疊的方式設置。