[發明專利]圖案描繪裝置、圖案描繪方法、器件制造方法、激光光源裝置、光束掃描裝置及方法有效
| 申請號： | 201580034744.8 | 申請日： | 2015-04-27 |
| 公開（公告）號： | CN106489093B | 公開（公告）日： | 2019-04-19 |
| 發明（設計）人： | 加藤正紀 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G02B26/12 | 分類號： | G02B26/12;G02B26/10;G02F1/03;G02F1/11;G02F1/37;G03F7/20;G03F7/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 陳偉;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 描繪 裝置 方法 器件 制造 激光 光源 光束 掃描 | ||
【說明書】：
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