[發明專利]流體控制器

有效

• 申請號: 201580034364.4
• 申請日: 2015-12-14
• 公開（公告）號: CN106662270B
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 谷川毅;山路道雄;藥師神忠幸;石橋圭介;柳田保昌
• 申請（專利權）人: 株式會社富士金
• 主分類號: F16K35/00
• 分類號: F16K35/00;F16K31/122
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

本發明提供一種在確保耐久性的基礎上，能夠進行高精度的流量調整的流體控制器。本發明的流體控制器具備用于設定伴隨著開閉的閥桿(8)的上下移動量的上限值的閥桿上下移動量上限值設定單元(10)，還具備使伴隨著開閉的閥桿(8)的上下移動量在上限值以下的范圍內變化的閥桿上下移動量微調整單元(11)。

技術領域

本發明涉及一種流體控制器，尤其涉及一種適于在連續性地重復開閉的用途中使用的流體控制器。

背景技術

作為一種在連續性地重復開閉的用途中使用的流體控制器，已知一種被稱為直接接觸式隔膜閥(專利文獻1)。

這樣的流體控制器采取氣動式，常用于半導體制造裝置，要求能夠應對高溫且具有高耐久性。另外，其一般會在多條管線中使用，這種情況下，還要求消除每條氣體管線的流量(Cv值)之間的差。

在專利文獻1的流體控制器中，為了確保其耐久性(連續開閉動作次數)，還提出了將伴隨著開閉的閥桿上下移動量(隔膜的變形量)設定為所需值。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利公開2007-64333號公報

發明內容

(一)要解決的技術問題

根據各氣體管線中的閥的位置和閥的個體差異，其各自的流量(Cv值)都稍微有所不同。尤其在半導體制造裝置的情況下，靠近腔室使用的閥根據其Cv值，會直接影響所制造的半導體。然而，若配合氣體管線等相應地逐個調整閥的Cv值，則可能會出現調整至比能夠確保閥的耐久性的閥桿上下移動量更大的移動量的個體。由此，隔膜(和閥)的耐久性可能會降低。即，在確保耐久性的基礎上，存在能夠進行流量調整的情況。對于Cv值的調整量，在用一個調整結構進行調整的情況下，無法進行如下確認：調整時的閥桿的上下移動量變更了何種程度、調整的結果是否比能夠確保耐久性的閥桿的上下移動量更大。

本發明的目的在于，提供一種在確保耐久性的基礎上，能夠進行高精度的流量調整的流體控制器。

(二)技術方案

本發明的流體控制器的特征在于，具備：設置有流體通路的主體、設置于主體上方的閥蓋、設置于閥蓋上方的殼體、開閉流體通路的閥體、通過上升或下降使閥體向打開或關閉方向移動的閥桿、以及使閥桿上下移動的致動器，在所述流體控制器中，具備：用于設定伴隨著開閉的閥桿的上下移動量的上限值的閥桿上下移動量上限值設定單元、以及能夠對伴隨著開閉的閥桿的上下移動量在上限值以下的范圍內進行調整的閥桿上下移動量微調整單元。

由于能夠通過閥桿上下移動量上限值設定單元來設定閥桿上下移動量的上限值，因此閥桿上下移動量通過微調整，能夠使得無法將移動量設定為能確保耐久性的上限以上。這里，通過調整閥桿上下移動量來決定Cv值。這里，關于Cv值，需要進行微調整，該微調整是通過由閥桿上下移動量微調整單元使其在預先設定的閥桿上下移動量的上限值以下的范圍內變化來進行的。通過該微調整，能夠將Cv值高精度地設定為目標值。Cv值隨著使用而變化，在需要調整Cv值時，也通過閥桿上下移動量微調整單元來對閥桿上下移動量進行微調整。因此，在調整Cv值時，閥桿上下移動量不會設定得超過用于確保耐久性的閥桿上下移動量上限值。由此，能夠在確保耐久性的基礎上，進行高精度的流量調整。

通過閥桿上下移動量上限值設定單元所設定的閥桿上下移動量的上限值，在流體控制器出廠時被設定，在使用狀態下，維持在出廠時的設定值。通過閥桿上下移動量微調整單元所調整的閥桿上下移動量在流體控制器出廠時被臨時設定，在使用狀態下，由使用者來將其設定為合理值。

流體控制器采用例如金屬隔膜閥，但并不限定于此。另外，流體控制器可以是正常時處于關閉狀態，也可以是正常時處于打開狀態。