[發明專利]濺射靶及其制造方法有效
| 申請號： | 201580033520.5 | 申請日： | 2015-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN106471150B | 公開（公告）日： | 2020-01-17 |
| 發明（設計）人： | 梅本啟太;張守斌;浦山恒太郎 | 申請（專利權）人： | 三菱綜合材料株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;B22F1/00;C22C9/00;C22C28/00;C22C32/00 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知識產權代理有限公司 | 代理人： | 樸圣潔;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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