[發(fā)明專利]能量敏感性樹脂組合物有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580033498.4 | 申請日： | 2015-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN106575080B | 公開（公告）日： | 2020-08-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 野田國宏;千坂博樹;鹽田大 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/038 | 分類號： | G03F7/038;C08G73/22;G03F7/004;G03F7/40 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 能量 敏感性 樹脂 組合 | ||
【說明書】：
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