[發明專利]用于目標處理機械的封閉件有效
| 申請號： | 201580033308.9 | 申請日： | 2015-05-01 |
| 公開（公告）號： | CN106462084B | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | J·G·威維伯格;L·V·普蘭德索恩;B·范格爾德;G·德博爾;M·P·丹斯伯格 | 申請（專利權）人： | 邁普爾平版印刷IP有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01J37/16;H01J37/317;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 韓國勝 |
| 地址： | 荷蘭代*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 目標 處理 機械 封閉 | ||
【權利要求書】：
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