[發(fā)明專利]用于操作具有進(jìn)給與施配傳感器、過濾與施配確認(rèn)及過濾器的減壓注給的泵的系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580033267.3
• 申請日: 2015-05-28
• 公開（公告）號: CN106662083B
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹姆斯·切德羅內(nèi);伊萊·蓋許蓋伊;喬治·L·葛諾拉
• 申請（專利權(quán)）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: F04B13/00
• 分類號: F04B13/00;F04B17/03;F04B43/04;F16H25/20
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 齊楊

本發(fā)明揭示一種泵送系統(tǒng)，其具有定位于填充側(cè)上的壓力傳感器及施配側(cè)上的壓力傳感器，以獲得并提供可由控制器用于確定各種操作分布曲線的壓力信息。為避免將空氣截留于工藝流體中，壓力傳感器可齊平地安裝或以一角度安裝在進(jìn)給室、瓶或貯存罐的側(cè)壁的底部或半高處或者附近。從所述填充側(cè)獲得的所述壓力信息可具有許多有益用途，包含過濾確認(rèn)、空氣檢測及過濾器的減壓注給。所述泵送系統(tǒng)可進(jìn)一步包含用于實(shí)時(shí)顯示所述操作分布曲線及各種相關(guān)聯(lián)警報(bào)的圖形用戶接口。

相關(guān)申請案的交叉參考

本申請案主張來自2014年5月28日提出申請的第62/004,117號美國臨時(shí)申請案的優(yōu)先權(quán)權(quán)益，所述臨時(shí)申請案(包含附件)以全文引用的方式并入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明一般來說涉及流體泵。更特定來說，本文中揭示的實(shí)施例涉及單級泵及多級泵，包含用于半導(dǎo)體制造的泵。甚至更特定來說，本發(fā)明的實(shí)施例涉及操作泵，及/或確認(rèn)泵的各種操作或動作，包含過濾確認(rèn)、施配確認(rèn)、空氣檢測及泵中的過濾器的減壓注給。

背景技術(shù)

存在針對其對泵送設(shè)備施配流體的量及/或速率的精確控制是必要的許多應(yīng)用。舉例來說，在半導(dǎo)體處理中，控制將例如光致抗蝕劑化學(xué)品等光化學(xué)品施加到半導(dǎo)體晶片的量及速率是重要的。在處理期間施加到半導(dǎo)體晶片的各涂層通常需要以埃為單位測量的跨越晶片的表面的均勻一致平坦度。必須仔細(xì)地校準(zhǔn)且精確地控制將處理化學(xué)品施加到晶片的速率，以確保準(zhǔn)確且均勻地施加處理液體(即，含有所述化學(xué)品的半導(dǎo)體制造工藝流體)。

用于半導(dǎo)體工業(yè)中的許多光化學(xué)品目前是非常昂貴的，通常花費(fèi)高達(dá)一公升1,000美元。因此，確保使用最小但充足量的化學(xué)品并確保泵送設(shè)備不破壞含有化學(xué)品的工藝液體或流體是優(yōu)選的。然而，在泵送設(shè)備的操作期間的各種狀況可造成壓力尖峰或壓力降，此可破壞工藝流體(即，可不利地改變工藝流體的物理性質(zhì))，導(dǎo)致施配太多或太少工藝流體，或?qū)⒉焕麆恿σ氲焦に嚵黧w的施配操作中。泵送設(shè)備內(nèi)發(fā)生的其它狀況還可阻止工藝流體的恰當(dāng)施配。這些狀況可由工藝本身的時(shí)序改變引起。當(dāng)這些狀況發(fā)生時(shí)，結(jié)果可為工藝流體到晶片上的不恰當(dāng)施配，此致使晶片不適合使用且最終導(dǎo)致晶片變成廢品被丟棄。

使此問題惡化的是以下事實(shí)：在許多情形中，在已進(jìn)一步處理報(bào)廢晶片之后僅使用某一形式的質(zhì)量控制程序檢測所述晶片。同時(shí)，造成不恰當(dāng)施配且因此造成報(bào)廢晶片的狀況持續(xù)存在。因此，在首次不恰當(dāng)施配與報(bào)廢晶片的檢測之間的中間時(shí)期中，許多額外不恰當(dāng)沉積可在其它晶片上發(fā)生。不幸地，這些晶片繼而也必須作為廢品被丟棄。

那么，如可見，檢測或確認(rèn)已發(fā)生恰當(dāng)施配是合意的。在過去已經(jīng)使用各種技術(shù)實(shí)現(xiàn)此施配確認(rèn)。作為實(shí)例，先前施配確認(rèn)方法涉及在泵的施配噴嘴處利用相機(jī)系統(tǒng)來確認(rèn)施配已經(jīng)發(fā)生。然而，此解決方案并非優(yōu)選的，因?yàn)檫@些相機(jī)系統(tǒng)通常獨(dú)立于泵送系統(tǒng)且因此必須單獨(dú)地安裝及校準(zhǔn)以與泵送系統(tǒng)一起工作。此外，在絕大多數(shù)情形中，這些相機(jī)系統(tǒng)往往過分昂貴。

另一方法涉及在泵送系統(tǒng)中的工藝流體的流體流動路徑中使用流量計(jì)來確認(rèn)施配已經(jīng)發(fā)生。此方法也可能有問題。舉例來說，將流量計(jì)作為額外組件插入到流體流動路徑中不僅提高泵送系統(tǒng)的成本，而且還在工藝流體流動穿過經(jīng)插入流量計(jì)時(shí)增加污染工藝流體的風(fēng)險(xiǎn)。

鑒于前述內(nèi)容，需要用于確認(rèn)泵的操作及動作的方法及系統(tǒng)，所述方法及系統(tǒng)可迅速且準(zhǔn)確地檢測這些操作及動作的恰當(dāng)完成且可提供較早警告及/或在需要時(shí)采取適當(dāng)動作以確保高效操作及質(zhì)量結(jié)果。本文中揭示的實(shí)施例可解決此需要及更多需要。

發(fā)明內(nèi)容

在一些實(shí)施例中，泵送系統(tǒng)可包含：流體源；多級泵，其經(jīng)由入口閥與所述流體源流體連通；及泵控制器，其一或多個(gè)網(wǎng)絡(luò)通信鏈路以通信方式連接到所述多級泵。所述泵控制器還可以通信方式連接到控制裝置，例如泵軌、管理站等等。