[發明專利]隔膜閥、流體控制裝置、半導體制造裝置以及半導體制造方法在審
| 申請號： | 201580033240.4 | 申請日： | 2015-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN106471298A | 公開（公告）日： | 2017-03-01 |
| 發明（設計）人： | 渡邊一誠;四方出 | 申請（專利權）人： | 株式會社富士金 |
| 主分類號： | F16K7/14 | 分類號： | F16K7/14;C23C16/448;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司11002 | 代理人： | 張晶,謝順星 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 隔膜 流體 控制 裝置 半導體 制造 以及 方法 | ||
【說明書】：
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