[發明專利]隔膜閥、流體控制裝置、半導體制造裝置以及半導體制造方法有效
| 申請號： | 201580033235.3 | 申請日： | 2015-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN106461097B | 公開（公告）日： | 2018-10-09 |
| 發明（設計）人： | 渡邊一誠;四方出 | 申請（專利權）人： | 株式會社富士金 |
| 主分類號： | F16K7/12 | 分類號： | F16K7/12;F16K7/14;F16K7/16;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 張晶;謝順星 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 隔膜 流體 控制 裝置 半導體 制造 以及 方法 | ||
【權利要求書】：
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