[發明專利]含有具有苯基生色團的硅的抗蝕劑下層膜形成用組合物有效
| 申請號： | 201580031938.2 | 申請日： | 2015-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN106462075B | 公開（公告）日： | 2019-12-06 |
| 發明（設計）人： | 中島誠;柴山亙;武田諭;高瀨顯司 | 申請（專利權）人： | 日產化學工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/11 | 分類號： | G03F7/11;C08G77/28;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11247 北京市中咨律師事務所 | 代理人： | 李照明;段承恩<國際申請>=PCT/JP |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 含有 具有 苯基 生色 抗蝕劑 下層 形成 組合 | ||
【權利要求書】：
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