[發明專利]永久膜用感光性組合物、抗蝕材料及涂膜在審
| 申請號： | 201580031521.6 | 申請日： | 2015-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN106462063A | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 今田知之;木本誠二;佐藤勇介 | 申請（專利權）人： | DIC株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/023 | 分類號： | G03F7/023 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 永久 感光性 組合 材料 | ||
【權利要求書】：
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