[發(fā)明專利]混合能量轉(zhuǎn)換與處理檢測器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580030835.4 | 申請(qǐng)日： | 2015-04-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106796861B | 公開（公告）日： | 2019-05-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 亞歷山大·約瑟夫·古本斯;保羅·穆尼;馬修·蘭特 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 加坦公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/244 | 分類號(hào)： | H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 成都虹橋?qū)＠聞?wù)所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 劉揚(yáng) |
| 地址： | 美國賓夕法尼*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 混合 能量 轉(zhuǎn)換 處理 檢測器 | ||
1.一種用于接收具有預(yù)先設(shè)定的高低光照強(qiáng)度部分的電子輻射束的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器(HECD)，所述檢測器包括：照射于電子輻射束的高光照強(qiáng)度部分的能量轉(zhuǎn)換閃爍體，所述能量轉(zhuǎn)換閃爍體通過電子輻射束的高光照強(qiáng)度部分而產(chǎn)生光；圖像傳感器包括：適用于布置和接收來自所述能量轉(zhuǎn)換閃爍體的光以及處理圖像的第一圖像傳感器部分；及適用于直接布置和接收低光照強(qiáng)度部分電子輻射束以及處理圖像的第二圖像傳感器部分，其中所述閃爍體受所述電子輻射束的所述高光照強(qiáng)度部分照射，其中所述第二圖像傳感器部分受所述電子輻射束的低光照強(qiáng)度部分照射，以及，其中所述第一圖像傳感器部分對(duì)所述光的照射以及所述第二圖像傳感器部分對(duì)電子輻射束的低光照強(qiáng)度部分的照射，二者至少部分同時(shí)產(chǎn)生。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述第一和第二圖像傳感器部分位于單個(gè)硅器件上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述閃爍體通過光學(xué)效果耦合所述第一圖像傳感器部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述第二圖像傳感器部分實(shí)質(zhì)上與高能電子直接照射隔離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述第一和第二圖像傳感器部分同時(shí)讀出。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述第一和第二圖像傳感器部分單獨(dú)讀出。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述第一和第二圖像傳感器部分包括獨(dú)立的硅器件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述閃爍體直接置于預(yù)計(jì)會(huì)受電子輻射束的高光照強(qiáng)度部分照射的區(qū)域的所述第二圖像傳感部分，其中所述閃爍體產(chǎn)生的光圖像通過光學(xué)效果在所述第一圖像傳感器部分投射產(chǎn)生。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述閃爍體位于包含所述第二圖像傳感器部分的硅器件的電子進(jìn)入表面。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述第二圖像傳感器部分是具有直接照射面和位于所述直接照射面后面的背面的薄型直接檢測裝置，其中所述閃爍體位于所述背面。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述閃爍體安裝為不與所述第二圖像傳感器部分接觸。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述閃爍體安裝在所述單個(gè)硅器件前面用于遮蓋所述第一圖像傳感器部分，所述前面是直接受電子輻射束照射的所述單個(gè)硅器件的表面。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述閃爍體靠近所述第二圖像傳感器部分安裝。
14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述第一和第二圖像傳感器部分同時(shí)獲取數(shù)據(jù)。
15.根據(jù)權(quán)利要求7所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器，其中所述第一和第二圖像傳感器部分獨(dú)立獲取數(shù)據(jù)。
16.一種處理通過權(quán)利要求1所述的混合能量轉(zhuǎn)換檢測器的所述第一和第二圖像傳感器部分獲取的圖像的方法，包括：
單獨(dú)對(duì)所述圖像進(jìn)行后處理，使通過所述第一和第二圖像傳感器部分獲取的圖像部分的凈圖像增益、調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)和采樣相等或僅僅相關(guān)，從而減少圖像類合并工作。
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