[發明專利]抗蝕劑下層膜形成用組合物有效
| 申請號： | 201580030552.X | 申請日： | 2015-05-01 |
| 公開（公告）號： | CN106462074B | 公開（公告）日： | 2020-06-09 |
| 發明（設計）人： | 西卷裕和;橋本圭祐;遠藤貴文;坂本力丸 | 申請（專利權）人： | 日產化學工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/11 | 分類號： | G03F7/11;C08G8/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律師事務所 11247 | 代理人： | 王磊;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 抗蝕劑 下層 形成 組合 | ||
【說明書】：
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