[發明專利]具有應力去耦結構的MEMS構件和具有這種MEMS構件的元器件有效
| 申請號： | 201580029425.8 | 申請日： | 2015-05-29 |
| 公開（公告）號： | CN106458570B | 公開（公告）日： | 2019-06-25 |
| 發明（設計）人： | J·克拉森;J·賴因穆特;M·哈塔斯;R·賴興巴赫;A·皮格勒尼耶 | 申請（專利權）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/00 | 分類號： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鳴慧 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 應力 結構 mems 構件 這種 元器件 | ||
【權利要求書】：
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