[發明專利]3D TCAD仿真有效
| 申請號： | 201580029422.4 | 申請日： | 2015-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN106415553B | 公開（公告）日： | 2020-06-02 |
| 發明（設計）人： | A·特爾特里安;T·奇倫托 | 申請（專利權）人： | 美商新思科技有限公司 |
| 主分類號： | G06F30/398 | 分類號： | G06F30/398;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | tcad 仿真 | ||
【權利要求書】：
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