[發明專利]一種磨片裝置有效
| 申請號: | 201580029070.2 | 申請日: | 2015-03-31 |
| 公開(公告)號: | CN106664797B | 公開(公告)日: | 2019-04-23 |
| 發明(設計)人: | 劉洋;丁海幸 | 申請(專利權)人: | 華為技術有限公司 |
| 主分類號: | H05K3/00 | 分類號: | H05K3/00 |
| 代理公司: | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人: | 馮艷蓮 |
| 地址: | 518129 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 裝置 | ||
1.一種磨片裝置,其特征在于,包括:支撐座、用于夾持切片樣品的夾持裝置及用于研磨切片樣品的研磨裝置,其中,
所述夾持裝置及所述研磨裝置分別設置在所述支撐座上,且所述夾持裝置夾持的切片樣品朝向所述研磨裝置的研磨盤;還包括驅動裝置,所述驅動裝置驅動所述夾持裝置及所述研磨裝置中的至少一個裝置朝向另一個裝置移動,使所述研磨盤研磨所述切片樣品;
還包括調整裝置,所述研磨裝置通過調整裝置與所述支撐座連接,且所述調整裝置用于調整所述研磨裝置的研磨面與水平面的夾角;或,
還包括調整裝置,所述夾持裝置通過所述調整裝置與所述驅動裝置連接,且所述調整裝置用于調整所述夾持裝置夾持的切片樣品與水平面的夾角。
2.如權利要求1所述的磨片裝置,其特征在于,所述驅動裝置為絲杠,所述夾持裝置通過所述絲杠與所述支撐座螺旋連接。
3.如權利要求1所述的磨片裝置,其特征在于,所述驅動裝置為驅動氣缸,所述驅動氣缸的缸體固定在所述支撐座,所述驅動氣缸的活塞桿與所述夾持裝置固定連接。
4.如權利要求1所述的磨片裝置,其特征在于,所述夾持裝置包括基座,以及與所述基座固定連接的多個卡裝所述切片樣品的卡爪。
5.如權利要求1所述的磨片裝置,其特征在于,所述調整裝置包括至少三個調整桿,且每個調整桿包括與所述研磨裝置固定連接的第一螺紋桿、與所述支撐座固定連接的第二螺紋桿,以及與所述第一螺紋桿及第二螺紋桿螺紋連接的螺紋管,其中,所述第一螺紋桿及所述第二螺紋桿上的螺紋的旋向相反。
6.如權利要求1所述的磨片裝置,其特征在于,還包括設置在所述研磨裝置上,并用于檢測所述研磨裝置的研磨面與水平面的夾角的水平儀。
7.如權利要求1所述的磨片裝置,其特征在于,所述調整裝置包括至少三個調整桿,且每個調整桿包括與所述夾持裝置固定連接的第一螺紋桿、與所述驅動裝置固定連接的第二螺紋桿,以及分別與所述第一螺紋桿及第二螺紋桿螺旋連接的螺紋管,且所述第一螺紋桿及第二螺紋桿的旋向相反。
8.如權利要求1所述的磨片裝置,其特征在于,還包括設置在所述夾持裝置上,并用于檢測所述切片與水平面的夾角的水平儀。
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